[发明专利]用于电子柱的多极透镜

权利要求书

1.一种多极电子透镜，该多极电子透镜包括：

两个或更多个电极层，

其中，每一所述电极层具有跨过中心光轴延伸的狭缝，电子束沿所述中心光轴通过，并且所述电极层沿着电子光轴排列，以使得所述狭缝位于不同方向。

2.根据权利要求1所述的多极电子透镜，其中，所述多极电子透镜为四极电子透镜，在该四极电子透镜中，所述电极层由两个电极层构成，且其中不同的电压被分别施加至所述电极层。

3.根据权利要求1或2所述的多极电子透镜，其中每一所述电极层具有位于所述电子束沿其通过的中心光轴周围的附加孔，且形成于该孔周围的狭缝被形成为比所述孔更窄且更长。

4.根据权利要求3所述的多极电子透镜，其中所述附加孔基本上具有圆形形状，且包括所述狭缝的形状和所述附加孔的形状的形状为钥匙孔形状。

5.根据权利要求3所述的多极电子透镜，其中所述附加孔基本上具有圆形形状，且包括所述狭缝的形状和所述附加孔的形状的形状为多边形孔形状。

6.根据权利要求1-5中任一项权利要求所述的多极电子透镜，其中，该多极电子透镜替换属于聚焦透镜的中心电极层或属于具有三个或更多个电极层的源透镜的中心电极层，或者替换向其施加单独的电压且未接地的电极层。

7.一种电子柱，该电子柱包括电子发射源、一个或多个电子透镜以及偏转器，其中所述一个或多个电子透镜包括根据权利要求1-6中任一项权利要求所述的多极电子透镜。

8.根据权利要求7所述的电子柱，其中聚焦透镜包括多极透镜、设置于所述聚焦透镜前方的对准器、以及布置于电子束沿其通过的电子光轴上的最下游位置处的偏转器，所述多极透镜为根据权利要求4所述的电子透镜。

9.根据权利要求7所述的电子柱，其中该电子柱为使用薄片型电子透镜的多型微柱，且所述多极透镜由多型电极层构成，在该多型电极层中，狭缝或多个狭缝及附加孔形成于大的薄片中。