[发明专利]不平坦材料的刻划有效
申请号: | 200980120192.7 | 申请日: | 2009-05-14 |
公开(公告)号: | CN102046545A | 公开(公告)日: | 2011-05-04 |
发明(设计)人: | A·A·阿布拉莫夫;L·乌克兰采克;邬起;周乃越 | 申请(专利权)人: | 康宁股份有限公司 |
主分类号: | C03B33/09 | 分类号: | C03B33/09;C03B33/033;B23K26/06 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 樊云飞;周承泽 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平坦 材料 刻划 | ||
1.一种系统,其包括:
光学头,其具有入口,用来接收来自激光器的输出,具有光束形状调节光学部件,用来将所述输出聚焦成具有光束腰的伸长的激光束,所述光束腰具有中点,所述伸长的激光束具有相对于光束腰的中点约大于+/-5毫米的延伸的焦深,所述伸长的激光束在所述延伸的焦深中具有足够的功率密度,所述功率密度足以对其一部分位于所述延伸的焦深内的材料进行刻划。
2.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述系统还包括激光器,所述激光器与所述光学头偶连,用来为所述光学头提供输出。
3.如权利要求2所述的系统,其特征在于,所述系统还包括设置在所述激光器和光学头之间的光束扩展器,所述光束扩展器从激光器接收输出,将来自激光器的输出扩展为扩展的激光束,并将所述扩展的激光束传输到光学头。
4.如权利要求3所述的系统,其特征在于,所述光束扩展器处于固定的位置,所述光学头是飞行光学头,相对于光束扩展器移动。
5.如权利要求4所述的系统,其特征在于,所述飞行光学头的飞行距离约为0.5-6米,所述扩展的光束具有包括中点的光束腰,所述光束扩展器设计成将扩展的激光束的光束腰的中点近似投射在飞行距离的中点。
6.如权利要求2所述的系统,其特征在于,所述延伸的焦深最高约为+/-20毫米,所述伸长的激光束具有光束长度和光束宽度,在延伸的焦深范围内,所述光束宽度变化小于+/-5%,光束长度变化小于+/-2%。
7.如权利要求2所述的系统,其特征在于,所述伸长的激光束还包括以下性质:光束长度约为60-300毫米,光束宽度约为1-3毫米,延伸的焦深约大于或等于+/-10毫米。
8.如权利要求7所述的系统,其特征在于,在所述延伸的焦深上,功率密度变化约小于或等于5%。
9.如权利要求8所述的系统,其特征在于,所述伸长的激光束还包括以下性质:约200毫米的长度,宽度约为1.5毫米,延伸的焦深约为+/-25毫米。
10.如权利要求8所述的系统,其特征在于,所述伸长的激光束还包括以下性质:约200毫米的长度,宽度约为1.0毫米,延伸的焦深约为+/-20毫米。
11.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述光束形状调节光学部件包括一个或多个透镜。
12.如权利要求1所述的系统,其特征在于,所述光束形状调节光学部件包括两个透镜,所述两个透镜设计和设置成使得每个透镜独立地对所得光束一个轴上的形状进行调节。
13.一种制造玻璃平板的方法,该方法包括:
使用玻璃制造设备制造玻璃;和
通过对所述玻璃进行刻划,然后分离玻璃平板,从而由所述玻璃分离玻璃平板,所述刻划是通过以下方式进行的:用刻划设备产生的激光束进行刻划,所述刻划设备设定位置,用来在制造玻璃的同时进行刻划,所述刻划设备包括:
激光器;
光束扩展器,其位置设定用来接收来自激光器的激光束,将激光束扩展为扩展的激光束,所述扩展的激光束包括具有中点的光束腰;以及
飞行光学头,其设定位置用来接收扩展的激光束,所述飞行光学头能够在飞行距离上相对于光束扩展器移动,所述飞行距离具有中点,
所述光束扩展器形成扩展的激光束,使得扩展的激光束的光束腰的中点近似位于飞行距离的中点,
其中所述飞行光学头设计用来将扩展的激光束改变为具有光束腰的伸长的激光束,所述光束腰具有中点,所述伸长的激光束相对于伸长的激光束的光束腰的中点具有大于+/-5毫米的延伸的焦深,所述伸长的激光束在所述延伸的焦深中具有足以刻划玻璃的功率密度,
其中所述玻璃制造设备和刻划设备相对于彼此设置,使得通过玻璃制造设备制造的玻璃的一部分设置在延伸的焦深之内。
14.如权利要求13所述的方法,其特征在于,所述伸长的激光束具有瑞利范围,所述玻璃与飞行光学头之间的距离小于所述瑞利范围。
15.如权利要求14所述的方法,其特征在于,随着玻璃和飞行光学头相对于彼此移动,从玻璃到飞行光学头的距离发生变化。
16.如权利要求13所述的方法,其特征在于,在所述延伸的焦深上,功率密度变化约小于或等于5%。
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