[发明专利]用于控制匹配网络的装置、系统和方法

权利要求书

1.一种用于等离子体处理的功率发生器，包括：

功率输出端，适于施加用于激励等离子体的功率；

传感器，适于对在所述功率输出端处施加的功率进行采样以获得功率样本；以及

阻抗控制输出端，被配置成对所述功率样本做出响应而提供阻抗控制信号，所述阻抗控制信号使得连接到所述功率发生器的输出端并且连接到所述阻抗控制输出端的阻抗匹配网络，能够对所述阻抗控制信号做出响应而将所述等离子体的阻抗匹配到所述功率发生器的操作阻抗。

2.如权利要求1所述的功率发生器，包括：

存储器，被配置成存储特征化将所述功率发生器耦合到所述阻抗匹配网络的电缆的信息，并且其中所述功率发生器被配置成对特征化所述电缆的所述信息做出响应而提供所述阻抗控制信号。

3.如权利要求2所述的功率发生器，包括：

用户接口，被配置成使得用户能够输入特征化所述电缆的所述信息的至少一部分。

4.如权利要求2所述的功率发生器，其中，特征化所述电缆的所述信息包括所述电缆的长度。

5.如权利要求3所述的功率发生器，包括被配置成计算所述电缆的长度的逻辑。

6.如权利要求3所述的功率发生器，包括被配置成对所述电缆的所述长度以及所述功率样本做出响应而生成所述阻抗控制信号的内容的阻抗控制逻辑部分。

7.如权利要求1所述的功率发生器，其中，所述传感器包括选自由电压电流传感器和定向耦合器构成的组中的传感器。

8.如权利要求1所述的功率发生器，其中，所述功率输出端适于施加RF功率。

9.一种用于将功率传输到等离子体负载的方法，包括：

在功率发生器处生成功率，其中利用所述功率来激励等离子体；

将所述功率提供到所述功率发生器的功率输出端，所述功率输出端被配置成将所述功率发生器耦合到阻抗匹配网络；

对所述功率进行采样以获得功率样本，以及

对所述功率样本做出响应而向阻抗控制输出端提供阻抗控制信号，使得能够由所述信号对耦合到所述阻抗控制输出端的阻抗匹配网络进行控制。

10.如权利要求9所述的方法，包括：

在所述功率发生器的存储器中存储特征化将所述功率发生器耦合到所述阻抗匹配网络的电缆的信息，并且其中所述功率发生器被配置成对特征化所述电缆的所述信息做出响应而提供所述阻抗控制信号。

11.如权利要求9所述的方法，包括：

经由用户接口从用户接收特征化所述电缆的所述信息的至少一部分。

12.如权利要求10所述的方法，其中，特征化所述电缆的所述信息包括所述电缆的长度。

13.如权利要求10所述的方法，包括：

对所述电缆的所述长度以及所述功率样本做出响应而生成所述阻抗控制信号的内容。

14.如权利要求12所述的方法，包括计算所述电缆的所述长度。

15.如权利要求9所述的方法，其中，所述功率样本包括表明正向和反向电压信息的信息。

16.一种用于等离子体处理的功率传输系统，包括：

功率发生器，所述功率发生器包括功率输出端、用于测量由所述功率输出端传输的功率的参数的传感器、以及被配置成对所测量的参数的值做出响应而提供阻抗控制信号的阻抗控制输出端；以及

阻抗匹配网络，所述阻抗匹配网络连接到所述功率发生器的输出端并且连接到所述功率发生器的所述阻抗控制输出端，所述阻抗匹配网络被配置成对所述阻抗控制信号做出响应，通过将等离子体处理腔室中的等离子体的阻抗匹配到所述功率发生器的操作阻抗来提供功率从所述功率发生器到所述等离子体的有效传输。

17.如权利要求16所述的系统，其中，所述功率发生器包括存储器，所述存储器被配置成存储特征化将所述功率发生器耦合到所述阻抗匹配网络的电缆的信息，并且其中，所述功率发生器被配置成对特征化所述电缆的所述信息做出响应而提供所述阻抗控制信号。

18.如权利要求17所述的系统，其中，所述功率发生器包括被配置成使得用户能够输入特征化所述电缆的所述信息的至少一部分的用户接口。