[发明专利]用于减少光的条纹干涉的方法有效
申请号: | 200980122880.7 | 申请日: | 2009-06-19 |
公开(公告)号: | CN102066887A | 公开(公告)日: | 2011-05-18 |
发明(设计)人: | 帕维尔·克鲁克兹恩斯基;里卡德·拉尔金 | 申请(专利权)人: | 西门子公司 |
主分类号: | G01J3/433 | 分类号: | G01J3/433;G01J3/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 吴孟秋;李慧 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 减少 条纹 干涉 方法 | ||
1.一种用于减小在由激光光谱系统中的、由部分反射光学面限定的无源腔中产生的光的条纹干涉的方法,其中,所述无源腔的光路长度随着三角形来回移动(x)而变化,其特征在于,
-在连续测量周期(16)中执行光谱测量(15),其中在每两个所述连续测量周期(16)之间具有时间间隔(17),
-以下述方式进行三角形移动(x):在连续的所述时间间隔(17)中的连续时间间隔中定位所述三角形移动(x)的转折点(19),以及
-在每一或每第n个测量周期(16)之后,各转折点(19)的时间位置相对于所述测量周期(16)来移动。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述时间间隔(17)的长度恒定,且所述转折点(19)的时间位置的相对移动通过延长或缩短所述三角形移动(x)的所述来回移动区段来进行。
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,所述转折点(19)的时间位置的相对移动通过延长或缩短所述时间间隔(17)进行。
4.根据前述任一项权利要求所述的方法,其特征在于,所述转折点(19)的时间位置的相对移动随机进行。
5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法,其特征在于,所述转折点(19)的时间位置的相对移动在所述时间间隔(17)的开始和结尾之间递增地往复进行。
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