[发明专利]可动结构体及使用它的光扫描反射镜

权利要求书

1.一种可动结构体，具备：

可动板、分别将一端部与所述可动板连接而构成所述可动板的1个摆动轴的一对合叶、被配置于所述可动板的周围并连接所述一对合叶的各自的另一端部而支承所述合叶的框架部，

所述可动板被构成为，能在扭转所述一对合叶的同时相对于所述框架部摆动，其特征在于，

还具备挡块部，

所述挡块部在所述可动板发生位移时，则与可动结构体的一部分接触，限制所述可动板的位移。

2.根据权利要求1所述的可动结构体，其特征在于，

所述挡块部被设置成限制所述可动板的面内方向的位移。

3.根据权利要求1或2所述的可动结构体，其特征在于，

所述挡块部在所述合叶的侧方沿着该合叶形成。

4.根据权利要求1或2所述的可动结构体，其特征在于，

还具备梳齿电极，

所述梳齿电极在所述可动板的一部分及所述框架的一部分中被相互面对地形成，以使所述可动板相对所述框架部摆动，

所述挡块部被配置为：

在所述可动板在所述面内方向发生位移时，与除去所述梳齿电极以外的可动结构体的其他的部位接触。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的可动结构体，其特征在于，

所述挡块部被一体化地形成于所述可动板或所述框架部中。

6.根据权利要求3所述的可动结构体，其特征在于，

在所述可动板中设有凹部，

所述凹部是在由所述合叶轴式支承的部位的附近沿合叶的长度方向凹入地形成的，

所述挡块部被一体化地形成于所述框架部中，且被形成为位于所述合叶与形成所述凹部的可动板的侧缘部之间。

7.根据权利要求1至6中任意一项所述的可动结构体，其特征在于，

在所述挡块部的角部，形成有R倒角形状的倒角部。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的可动结构体，其特征在于，

所述挡块部在所述可动板向侧方位移时，与接触该挡块部的可动结构体的其他的部位处于相同电位。

9.根据权利要求1至8中任意一项所述的可动结构体，其特征在于，

在所述挡块部的至少一部分中形成有防粘附膜或突起部，以便不与接触该挡块部的物体之间产生粘附。

10.根据权利要求1所述的可动结构体，其特征在于，

所述挡块部被设置成限制所述可动板的厚度方向的位移。

11.根据权利要求10所述的可动结构体，其特征在于，

所述可动板、所述合叶和所述框架被设于半导体基板中，

在所述半导体基板的至少一面中，接合有用于保护所述可动板的保护基板，

所述挡块部被从所述保护基板朝向所述可动板的摆动的中心轴突出设置。

12.根据权利要求11所述的可动结构体，其特征在于，

所述挡块部被以在所述可动板位移时不与所述合叶抵接的程度，形成于远离所述合叶的位置。

13.根据权利要求12所述的可动结构体，其特征在于，

所述挡块部具有配置于所述可动板的上面侧的上挡块，

所述上挡块被朝向所述合叶的摆动的中心轴突出设置，在所述可动板发生位移时与该可动板抵接而限制该可动板的位移。

14.根据权利要求12所述的可动结构体，其特征在于，

在所述可动板的下面，与该可动板一体化地形成支承体，

所述挡块部具有配置于所述可动板的下面侧的下挡块，

所述下挡块被沿着所述合叶的摆动的中心轴地朝向该中心轴突出设置，所述下挡块在所述可动板发生位移时和与该可动板一体化地发生位移的支承体抵接而限制该可动板的位移。

15.一种光扫描反射镜，其特征在于，

具有权利要求1至14中任意一项所述的可动结构体，

在所述可动板的上面，设有将入射的光反射的反射镜面。