[发明专利]复合射频(RF)波形的匹配电路

权利要求书

1.一种复合波形频率匹配装置，包含：

彼此并联耦合的多个射频发生器，所述多个射频发生器的每个随后的射频发生器都被配置为产生谐波频率，所述谐波频率与任何产生更低频率的射频发生器所产生的频率以整数倍的形式相关，从而产生复合波形；

耦合于所述多个射频发生器的输出的多个分频器电路；以及

多个匹配网络，所述多个匹配网络中的每一个都具有耦合于所述多个分频器电路之一的输出的输入以及被配置为耦合于等离子体室的输出。

2.根据权利要求1所述的复合波形频率匹配装置，进一步包含耦合于所述多个射频发生器的输出和所述多个分频器电路的输入之间的频率分析器。

3.根据权利要求2所述的复合波形频率匹配装置，进一步包含前馈回路，所述前馈回路耦合于所述多个分频器电路并被配置为基于确定所述复合波形的成分频率而调整所述多个分频器电路中的每一个的谐振频率。

4.根据权利要求2所述的复合波形频率匹配装置，进一步包含前馈回路，所述前馈回路耦合于所述多个匹配网络并被配置为基于确定所述复合波形的成分频率而调整所述多个匹配网络中的每一个的谐振频率。

5.根据权利要求2所述的复合波形频率匹配装置，其中所述频率分析器被配置为执行快速傅里叶变换并确定所述复合波形的成分频率。

6.根据权利要求1所述的复合波形频率匹配装置，其中所述多个匹配网络中的每一个被配置为将从所述多个分频器电路之一接收到的中心频率的阻抗匹配到所述等离子体室的输入阻抗。

7.根据权利要求1所述的复合波形频率匹配装置，进一步包含耦合于所述多个射频发生器的输出和所述多个分频器电路的输入之间的电阻元件，所述电阻元件被选择为允许所述多个分频器电路中的每一个实现高品质值。

8.根据权利要求1所述的复合波形频率匹配装置，其中所述多个匹配网络是由多个窄带放大器组成的。

9.一种复合波形频率匹配装置，包含：

彼此并联耦合的多个射频发生器，所述多个射频发生器的每个随后的射频发生器都被配置为产生谐波频率，所述谐波频率与任何产生更低频率的射频发生器所产生的频率以整数倍的形式相关，从而产生复合波形；

耦合于所述多个射频发生器的输出的频率分析器；

耦合于所述频率分析器的输出的多个分频器电路；以及

多个匹配网络，所述多个匹配网络中的每一个都具有耦合于所述多个分频器电路之一的输出的输入以及被配置为耦合于等离子体室的输出。

10.根据权利要求9所述的复合波形频率匹配装置，进一步包含前馈回路，所述前馈回路耦合于所述多个分频器电路并被配置为基于确定所述复合波形的成分频率而调整所述多个分频器电路中的每一个的谐振频率。

11.根据权利要求9所述的复合波形频率匹配装置，进一步包含前馈回路，所述前馈回路耦合于所述多个匹配网络并被配置为基于确定所述复合波形的成分频率而调整所述多个匹配网络中的每一个的谐振频率。

12.根据权利要求9所述的复合波形频率匹配装置，其中所述多个匹配网络中的每一个被配置为将从所述多个分频器电路之一接收到的中心频率的阻抗匹配到所述等离子体室的输入阻抗。

13.根据权利要求9所述的复合波形频率匹配装置，进一步包含耦合于所述多个射频发生器的输出和所述多个分频器电路的输入之间的电阻元件，所述电阻元件被选择为允许所述多个分频器电路中的每一个实现高品质值。

14.根据权利要求9所述的复合波形频率匹配装置，其中所述多个匹配网络是由多个窄带放大器组成的。

15.根据权利要求9所述的复合波形频率匹配装置，其中所述频率分析器被配置为执行快速傅里叶变换并确定所述复合波形的成分频率。

16.一种复合波形频率匹配装置，包含：

被配置为产生复合波形的射频发生器；

耦合于所述射频发生器的输出的多个分频器电路；以及

多个匹配网络，所述多个匹配网络中的每一个都具有耦合于所述多个分频器电路之一的输出的输入以及被配置为耦合于等离子体室的输出。