[发明专利]用于制造填充有液体并由薄膜封闭的围室的改良方法

权利要求书

1.一种用于制造包括填充有至少一种液体并由至少一薄膜来封闭的至少一封闭围室的装置的方法，所述方法包含以下步骤：

a)在一支撑物(100)上沉积至少一呈液态形式的特定材料，

b)使所述特定材料(130)至少部分凝固，

c)通过低压沉积到所述已固化的材料上来制造一薄膜，所述薄膜及所述支撑物形成至少一填充有所述特定材料的封闭围室，

d)使所述特定材料(130)熔化以使其在所述封闭围室中再次液化。

2.根据权利要求1所述的方法，其中形成所述薄膜的所述材料为一弹性材料。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中形成所述薄膜的所述材料以聚对二甲苯及/或其至少一种衍生物为基础。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述沉积步骤在介于1到500毫托之间的压力下或在工业真空中执行。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中所述沉积步骤在介于-196℃到80℃之间的温度下执行。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述支撑物包括数个单独的腔室且其中步骤a)包括用所述特定材料(130)填充至少一腔室，所述薄膜在步骤c)中形成且所述腔室形成填充有所述特定材料的数个单独的封闭围室。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中所述支撑物包括数个单独的腔室且其中步骤a)包括用所述特定材料填充至少一腔室及用另一特定液体材料填充至少一腔室，步骤b)还包括使所述特定材料(130，230)至少部分凝固，所述薄膜在步骤c)中形成且所述腔室形成填充有不同液体的数个封闭围室。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，所述特定材料选自下列材料之一：一液晶体、一离子液体、一矿物油、一印刷用墨油、一硅油、以一液体及一胶凝剂为基础的一热可逆凝胶。