[发明专利]通过电阻式辐射热测量计阵列检测红外辐射的器件和方法

权利要求书

1.一种红外辐射检测器件，包括：

-衬底；

-检测所述辐射的至少一行部件的阵列(12)，每个所述部件都包括电阻式成像辐射热测量计(14)，所述阵列形成于所述衬底上面；

-读取所述阵列的所述辐射热测量计的读取装置(18)；

-测量在所述衬底的至少一个点处的温度的温度测量装置(22)；

-以及根据在所述衬底的至少一个点处测得的温度对基于每个辐射热测量计(14)形成的信号进行校正的校正装置(26)，

其特征在于，所述校正装置(26)能够借助于所述信号的温度性能的预定物理模型对基于所述成像辐射热测量计(14)形成的所述信号进行校正。

2.如权利要求1所述的红外辐射检测器件，其特征在于，所述温度测量装置(22)包括用于测量所述衬底的温度的至少一个探针。

3.如权利要求2所述的红外辐射检测器件，其特征在于，所述温度测量装置包括：能够在所述衬底的多个点处测量所述衬底的温度的多个温度测量探针，以及用于根据在所述衬底的多个点处测得的温度对所述衬底的温度的空间分布进行建模的装置；以及，所述校正装置能够根据衬底附近的建模得到的衬底温度来对基于所述成像辐射热测量计(14)形成的所述信号进行校正。

4.如权利要求1或2所述的红外辐射检测器件，其特征在于，所述校正装置(26)能够估算所述成像辐射热测量计(14)的电阻，该电阻对应于所述阵列对温度基本上等于所测得的温度的均匀场景的曝光。

5.如权利要求4所述的红外辐射检测器件，其特征在于，所述校正装置(26)能够根据下列关系式来估算所述成像辐射热测量计(14)的电阻：

R_est(i，j)＝R_abs(i，j).C(T_mes)

其中，R_est(i，j)是所述成像辐射热测量计的估算电阻，R_abs(i，j)是所述成像辐射热测量计的预定的基准电阻，以及C(T_mes)是取决于所述衬底的所测得的温度T_mes的参数。

6.如权利要求5所述的红外辐射检测器件，其特征在于，根据下列关系式来计算所述参数C(T_mes)：

C(Tmes)=exp(EAk.Tmes)]]>

其中，E_A是所述成像辐射热测量计的预定的启动能量，k是玻尔兹曼常数，以及T_mes是用开尔文温度表示的所测得的温度。

7.如任一前述权利要求所述的红外辐射检测器件，其特征在于，包括共模补偿结构(20)，所述共模补偿结构(20)包括与所述阵列(12)中的每一列相关联的补偿辐射热测量计(54)，所述读取装置(18)能够基于在所述成像辐射热测量计(14)中流动的电流和在与所述成像辐射热测量计(14)相关联的所述补偿辐射热测量计(54)中流动的电流之间的差来形成所述信号，以及所述校正装置(26)能够估算所述补偿辐射热测量计(54)的电阻，以便校正所述信号。