[发明专利]具有两个旋转轴上的独立旋转的微机电系统器件

权利要求书

1.一种微机电系统MEMS配置，包括：

顶部平面，包括可旋转元件；

中间支撑框架平面；

下电气基板平面；

其中，所述可旋转元件由在所述中间支撑框架平面中形成的支撑框架支撑，以便于在第一旋转轴上相对于所述框架可旋转；

其中，所述框架被安装成相对于第二旋转轴可旋转；

其中，所述第一旋转轴上的旋转基本上独立于所述第二旋转轴上的旋转。

2.根据权利要求1所述的MEMS配置，配置为填充系数＞90％的1×N阵列。

3.根据权利要求1和2中任一项所述的MEMS配置，进一步包括：

致动电极，安置在所述可旋转元件和所述支撑框架之间；

其中，由安置在所述可旋转元件和所述中间支撑框架之间的所述致动电极实现围绕所述第一轴的旋转。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的MEMS配置，进一步包括：

致动电极，安置在所述支撑框架和所述下电气基板之间；

其中，由安置在所述支撑框架和所述下电气基板之间的所述致动电极实现围绕所述第二轴的旋转。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的MEMS配置，其中，所述两个轴基本上正交。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的MEMS配置，其中，所述中间支撑框架平面包括由绝缘层隔开的上传导层和下传导层。

7.根据权利要求6所述的MEMS配置，其中：

所述支撑框架在所述中间支撑框架平面中形成，所述支撑框架的一部分由所述上传导层形成并且一部分由所述下传导层形成；

所述配置进一步包括：

过孔，通过桥接所述绝缘层来提供所述上传导层和所述下传导层之间的选定区域中的电气连接，所述绝缘层隔开所述上传导层和所述下传导层。

8.根据权利要求7所述的MEMS配置，进一步包括：

使用构图的传导材料形成的通往所述支撑框架和所述顶部平面的区域的电气配线。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的MEMS配置，其中：

所述支撑框架在所述中间支撑框架平面中形成，所述支撑框架由传导层形成；

利用绝缘材料填充在所述传导层中形成的槽以形成彼此电气隔离的所述支撑框架的区域。

10.根据权利要求7所述的MEMS配置，进一步包括：

使用构图的传导材料形成的通往所述支撑框架和所述顶部平面的电气隔离区域的电气配线。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的MEMS配置，进一步包括：

提供围绕所述第一轴的旋转的柔性铰链，其在所述顶部平面中形成并且沿所述第一轴安置在所述可旋转元件的相对端。

12.根据权利要求1至10中任一项所述的MEMS配置，进一步包括：

提供围绕所述第一轴的旋转的柔性铰链，其在所述中间框架层平面中形成并且沿所述第一轴连接至所述可旋转元件的相对端。

13.根据权利要求12所述的MEMS配置，其中，所述柔性铰链基本上被所述可旋转元件覆盖。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的MEMS配置，进一步包括：

提供围绕所述第二轴的旋转的柔性铰链，其在所述中间支撑框架平面中形成。

15.根据权利要求14所述的MEMS配置，其中，提供绕所述第二轴的旋转的所述柔性铰链被安置在所述可旋转元件下方以允许高填充系数和最大可用可旋转元件表面积。

16.根据权利要求1至15中任一项所述的MEMS配置，进一步包括：

致动机构，用于围绕所述第一轴致动。

17.根据权利要求16所述的MEMS配置，其中，所述致动机构包括平行板静电电极、竖直梳驱动、电磁致动器中的至少一个。

18.根据权利要求1至17中任一项所述的MEMS配置，进一步包括：

致动机构，用于绕所述第二轴致动。

19.根据权利要求18所述的MEMS配置，其中，所述致动机构包括平行板静电电极、竖直梳驱动、电磁致动器中的至少一个。