[发明专利]正型感光性树脂组合物，固化膜，保护膜，绝缘膜以及使用它们的半导体装置，显示器装置

权利要求书

1.一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，含有：

聚酰胺系树脂(A)，具有通式(1)所示的重复单元；以及

感光剂(B)，由通式(2)所示的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-4-磺酸的酯以及通式(2)所示的苯酚化合物与1，2-萘醌二叠氮-5-磺酸的酯中的至少一者所构成，

式(1)中，X、Y为有机基；R₁为羟基、-O-R₃、烷基、酰氧基或环烷基；R₂为羟基、羧基、-O-R₃或-COO-R₃；h为0～8的整数，i为0～8的整数；R₃为碳原子数1～15的有机基；在此，当R₁～R₃中的任一者为多个时，分别相同或相异；当作为R₁无羟基时，R₂中的至少一个必须为羧基；又，当作为R₂无羧基时，R₁中的至少一个必须为羟基，

式(2)中，Z为有机基；R₄～R₇为氢原子或烷基；R₈～R₁₁为氢原子、羟基、卤原子、烷基、烷氧基、烯基或环烷基；j～m分别为0～4的整数；当R₈～R₁₁中的任一者为多个时，分别相同或相异。

2.如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其中，上述聚酰胺系树脂(A)的上述通式(1)中的X，含有具有由下式(3-1)～(3-6)所组成的组中选出的结构的重复单元，

式(3)

式中，*表示与NH基结合；式(3-5)的D为-CH₂-、-CH(CH₃)-、-C(CH₃)₂-、-O-、-S-、-SO₂-、-CO-、-NHCO-、-C(CF₃)₂-或单键；式(3-6)的E为-CH₂-、-CH(CH₃)-或-C(CH₃)₂-；R₁₂为烷基、烷氧基、酰氧基或环烷基；s为1～3的整数；当R₁₂为多个时，分别相同或相异。

3.如权利要求1或2所述的正型感光性树脂组合物，其中，上述通式(2)所示的苯酚化合物中的Z，含有从由下式(4-1)和(4-2)所组成的组中选出的结构，

式(4)

4.如权利要求1～3中任一项所述的正型感光性树脂组合物，其中，上述通式(2)所示的苯酚化合物，含有从由下式(5-1)～(5-5)所组成的组中选出的至少一种以上，

式(5)

5.一种固化膜，其特征在于，由权利要求1～4中任一项所述的正型感光性树脂组合物的固化物构成。

6.一种保护膜，其特征在于，由权利要求5所述的固化膜构成。

7.一种绝缘膜，其特征在于，由权利要求5所述的固化膜构成。

8.一种半导体装置，其特征在于，具有权利要求5所述的固化膜。

9.一种显示器装置，其特征在于，具有权利要求5所述的固化膜。