[发明专利]包括耐蚀材料的极端紫外辐射产生设备

权利要求书

1. 极端紫外辐射产生设备，该极端紫外辐射产生设备包括：等离子体产生设备；至少一个锡供应系统，其具有与所述等离子体产生设备流体连通的供应贮存器，该至少一个锡供应系统适合于向所述等离子体产生设备供应液态锡，其中所述锡供应系统包括用于供应锡的至少一个供应装置，其中所述供应装置至少部分地涂覆有至少一种共价无机固体材料。

2. 权利要求1的极端紫外辐射产生设备，其中该至少一种共价无机固体材料包括选自下述材料的群组的固体材料：氧化物、氮化物、硼化物、磷化物、碳化物、硫化物、硅化物和/或其混合物。

3. 权利要求1或2的极端紫外辐射产生设备，其中共价无机固体材料包括熔点≥1000℃的至少一种材料。

4. 权利要求1至3中任意一项的极端紫外辐射产生设备，其中共价无机固体材料包括密度为≥2g/cm³且≤8g/cm³的至少一种材料。

5. 权利要求1至4中任意一项的极端紫外辐射产生设备，其中共价无机固体材料包括选自下述材料组成的群组的至少一种材料：Mg、Al、Si、K、Ca、Sc、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Ga、Ge、Y、Zr、Nb、Mo、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、Cd、In、Sn、La、Ce、Pr、Nd、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、W、Re、Os、Ir、Pt、Au的氧化物、氮化物、硼化物、磷化物、碳化物、硫化物和硅化物或其混合物。

6. 极端紫外辐射产生设备，该极端紫外辐射产生设备包括：等离子体产生设备；至少一个锡供应系统，其具有与所述等离子体产生设备流体连通的供应贮存器，该至少一个锡供应系统适合于向所述等离子体产生设备供应液态锡，其中所述锡供应系统包括用于供应锡的至少一个供应装置，其中所述供应装置至少部分地涂覆有选自包括包括下述材料的群组的至少一种金属：IVb、Vb、VIb和/或VIIIb金属或其混合物。

7. 权利要求1至6中任意一项的极端紫外辐射产生设备，其中金属涂层的厚度为≥100nm且≤100μm。

8. 权利要求1至7中任意一项的极端紫外辐射产生设备，其中金属涂层的粗糙度为≥1nm且≤1μm。

9. 一种包括权利要求1至8中任意一项的极端紫外辐射产生设备的系统，该系统在下述应用的一种或多种中使用：

半导体光刻，

计量学，

显微学，

裂变，

熔化，

焊接。