[发明专利]薄膜太阳能电池及其制造方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，包括：

第一透明导电膜形成工序，在透明绝缘基板上形成在基板面内相互分离的多个第一透明导电膜；

第二透明导电膜形成工序，在所述第一透明导电膜上形成第二透明导电膜；

蚀刻工序，将所述第二透明导电膜蚀刻为粒状来形成分散在所述第一透明导电膜上的第一粒状体；

发电层形成工序，在所述第一透明导电膜上以及所述分散的第一粒状体上形成发电层；以及

背面电极层形成工序，在所述发电层上形成背面电极层。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述蚀刻工序中，所述第二透明导电膜的蚀刻速度比所述第一透明导电膜的蚀刻速度快，并且所述第二透明导电膜通过蚀刻液被加工为分散在所述第一透明导电膜上的第一粒状体。

3.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述蚀刻工序中，所述第二透明导电膜通过所述蚀刻液被加工为分散在所述第一透明导电膜上的第一粒状体之后，通过与所述蚀刻液相比相对于所述第一透明导电膜的蚀刻速度的所述第二透明导电膜的蚀刻速度比更大的其它蚀刻液，进一步蚀刻所述分散的第一粒状体，使其成为更微细的第一微细粒状体。

4.根据权利要求1或者2所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述第二透明导电膜为以氧化锌为主成分的膜，

在所述蚀刻工序中，通过包含草酸的第一溶液来蚀刻所述第二透明导电膜之后，通过包含盐酸、硫酸、硝酸、氢氟酸、醋酸以及蚁酸中的任一种的第二溶液来进行蚀刻。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述发电层形成工序和所述背面电极层形成工序之间，包括：

第三透明导电膜形成工序，在所述发电层的表面形成第三透明导电膜；以及

蚀刻工序，将所述第三透明导电膜蚀刻为粒状来形成分散在所述发电层上的第二粒状体，

在所述背面电极层形成工序中，在所述分散的第二粒状体上以及所述发电层上形成所述背面电极层。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述蚀刻工序中，在所述透明绝缘基板上的第一透明导电膜之间也将所述第二透明导电膜蚀刻为粒状，形成分散在所述透明绝缘基板上的相邻的第一透明导电膜之间的第三粒状体。

7.根据权利要求6所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

在所述蚀刻工序中，所述第二透明导电膜通过所述蚀刻液被加工为所述第三粒状体之后，通过与所述蚀刻液相比相对于所述第一透明导电膜的蚀刻速度的所述第二透明导电膜的蚀刻速度比更大的其它蚀刻液，进一步蚀刻所述分散的第三粒状体，使其成为更微细的第二微细粒状体。

8.根据权利要求7所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

蚀刻所述分散的第三粒状体使得所述透明绝缘基板上的相互分离的第一透明导电膜之间的分离电阻成为1兆欧以上。

9.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的制造方法，其特征在于，

所述第二透明导电膜为以氧化锌为主成分的膜，

在所述蚀刻工序中，通过包含草酸的第一溶液来蚀刻所述第二透明导电膜之后，通过使用了混合气体的平行平板型反应离子蚀刻来进行蚀刻，从而形成第三微细粒状体，并且在所述第一透明导电膜的表面以及所述透明绝缘基板中的所述相邻的第一透明导电膜之间的表面形成凹凸形状，其中，所述混合气体混合了：三氟甲烷、四氟甲烷、六氟化硫、氩中的任一种单体气体和氧或者氦。

10.一种薄膜太阳能电池，其特征在于，具备：

透明绝缘基板；

第一透明导电膜，形成在所述透明绝缘基板上；

分散的第一粒状体，形成在所述第一透明导电膜的表面，由与所述第一透明导电膜不同的透明导电材料所构成；

发电层，形成在所述第一透明导电膜上以及所述分散的第一粒状体上；以及

背面电极层，形成在所述发电层上。

11.根据权利要求10所述的薄膜太阳能电池，其特征在于，

所述分散的第一粒状体是由以氧化锌为主成分的材料所构成。