[发明专利]激光加工装置及激光加工方法

权利要求书

1.一种脆性材料基板用的激光加工装置，具备在脆性材料基板形成借由照射激光束进行局部加热的光束点的激光照射机构、形成局部冷却前述基板的冷却区域的基板冷却机构、以及沿在前述基板设定的加工预定线以光束点后冷却区域的顺序相对移动前述光束点及前述冷却区域的扫描机构，借由冷却区域通过光束点刚通过的位置而沿前述加工预定线形成由热应力产生的裂痕，其特征在：

前述基板冷却机构是由将常温下为气体或液体的冷媒材料冷却而固体化的固相冷媒、以及使前述固相冷媒接触前述基板的按压机构构成。

2.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在：其中，前述固相冷媒是使用冰、固体状态的酒精、干冰其中之一。

3.如权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在：其中，前述基板冷却机构另具备供给前述冷媒材料的冷媒供给部、以及将被供给的冷媒材料冷却至前述冷媒材料固体化的温度以下以形成固相冷媒的固体化部。

4.如权利要求3所述的激光加工装置，其特征在：其中，前述冷媒供给部具备喷射前述冷媒材料的喷嘴，前述固体化部是由设置对向在前述基板的端面并配置为从前述喷嘴被喷射的前述冷媒材料会附着于前述端面的芯材、以及将前述芯材的前述端面冷却至前述冷媒材料固体化的温度以下的芯材冷却部构成。

5.如权利要求1或2所述的激光加工装置，其特征在：其中，前述按压机构具备在使前述固相冷媒的一端面对向在前述基板的状态下将前述固相冷媒支持为可装卸的支持构件。

6.如权利要求1所述的激光加工装置，其特征在：其中，前述基板冷却机构另具备对固相冷媒整形与前述基板接触的固相冷媒的接触面的整形机构。

7.一种脆性材料基板用的激光加工方法，借由沿在脆性材料基板设定的加工预定线扫描以激光束的照射形成的光束点加热前述基板，其次借由冷却光束点刚通过的位置而沿前述加工预定线形成由热应力产生的裂痕，其特征在：

基板的冷却是以使将常温下为气体或液体的冷媒材料冷却而固体化的固相冷媒接触前述基板进行。

8.如权利要求7所述的激光加工方法，其特征在：其中，前述固相冷媒是使用冰、固体状态的酒精、干冰其中之一。

9.如权利要求7或8所述的激光加工方法，其特征在：其中，前述固相冷媒含有表面活性剂做为添加剂。

10.如权利要求7或8所述的激光加工方法，其特征在：其中，前述固相冷媒含有洗净剂做为添加剂。