[发明专利]具有终点窗口的抛光垫以及使用其的系统和方法

权利要求书

1.一种抛光垫，包括位于导向板的第一侧上的抛光合成物分布层以及位于导向板的相对第二侧上的支撑层，其中导向板保持多个抛光元件，该多个抛光元件沿着基本上垂直于包括抛光垫的平面的第一方向延伸，并且穿过抛光合成物分布层，其中抛光垫包括光路，其沿着该第一方向并且穿过垫的厚度，用于传输信号而现场监视抛光操作中的终点。

2.根据权利要求1所述的抛光垫，其中光路包括位于抛光合成物分布层中的不具有抛光元件的第一区域，以及位于支撑层中的透明区域，其中透明区域基本上沿着第一方向与第一区域对齐。

3.根据权利要求2所述的抛光垫，其中透明区域包括支撑层中的孔穴。

4.根据权利要求3所述的抛光垫，其中抛光合成物分布层包括位于支撑层的孔穴上的孔穴。

5.根据权利要求3所述的抛光垫，还包括位于支撑层中的孔穴中的透明部件，其中透明部件与导向板的第二侧相邻。

6.根据权利要求5所述的抛光垫，还包括位于透明部件和导向板的主表面之间的粘合剂层。

7.根据权利要求3所述的抛光垫，还包括位于支撑层的孔穴的已暴露壁的至少一部分上的粘合剂。

8.根据权利要求3所述的抛光垫，还包括位于支撑层和导向板之间的接触面上的粘合剂。

9.根据权利要求1所述的抛光垫，其中导向板是透明的。

10.根据权利要求2所述的抛光垫，其中支撑层中的透明区域包括透明聚合物。

11.根据权利要求2所述的抛光垫，其中整个支撑层包括透明聚合物。

12.根据权利要求1所述的抛光垫，其中导向板包括透明聚合物。

13.根据权利要求1所述的抛光垫，其中抛光元件包括细长圆柱体，并且其中圆柱体的纵轴沿着第一方向。

14.根据权利要求13所述的抛光垫，其中抛光元件包括凸缘，并且其中凸缘啮合导向板。

15.根据权利要求1所述的抛光垫，其中抛光元件具有中空体。

16.根据权利要求1所述的抛光垫，其中导向板包括孔穴阵列，并且其中至少一部分孔穴包括主孔和底切区域，并且其中底切区域形成肩部，该肩部将凸缘维持在抛光元件上。

17.一种抛光垫，包括：

抛光合成物分布层，其包括多个抛光元件，其中抛光元件向上延伸通过抛光合成物分布层，并且其中抛光合成物分布层包括第一区域，其包括至少一个透明抛光元件；以及

支撑层，包括位于第一区域之下的透明区域。

18.根据权利要求17所述的抛光垫，其中导向板是透明的。

19.根据权利要求17所述的抛光垫，其中支撑层中的透明区域包括透明聚合物。

20.根据权利要求17所述的抛光垫，其中整个支撑层包括透明聚合物。

21.一种化学机械抛光系统，包括：

压板；

位于压板上的根据权利要求17所述的抛光垫；以及

监视系统，用于监视抛光操作，其中监视系统通过第一区域和透明区域向检测器发射监视信号。

22.一种包括使用权利要求1或权利要求17所述的抛光垫抛光工件的方法。