[发明专利]过滤方法和使用其的研磨用组合物的纯化方法、以及用于过滤的过滤器的再生方法和过滤器再生装置

权利要求书

1.过滤方法，其是使用树脂制介质过滤器过滤液体的方法，其特征在于，包括在过滤时或过滤结束后对所述过滤器照射频率30kHz以上的超声波。

2.根据权利要求1所述的过滤方法，包括将过滤使用后的所述过滤器移置于别的再生装置，并对所述过滤器进行超声波照射从而将过滤器再生。

3.根据权利要求1或2所述的过滤方法，所述树脂制介质过滤器为膜过滤器。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的过滤方法，所述膜过滤器的形状为滤筒状。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的过滤方法，所述树脂制膜过滤器的材质为选自由尼龙、聚碳酸酯、聚四氟乙烯(PTFE)、聚砜、聚醚砜、以及纤维素构成的组中的至少1种以上。

6.根据权利要求1~5中任一项所述的过滤方法，所述过滤器的表面设置有包含网孔状树脂层的支撑材料。

7.根据权利要求1~6中任一项所述的过滤方法，超声波的输出功率为0.1~ 3.0W/cm²。

8.根据权利要求1~7中任一项所述的过滤方法，包括在过滤后使液体以与过滤时相反的方向透过过滤器而进行清洗的工序。

9.根据权利要求1~8中任一项所述的过滤方法，所述液体为含有微粒的分散液。

10.研磨用组合物的纯化方法，其特征在于，包括使用权利要求1~9中任一项所述的过滤方法对研磨用组合物进行过滤。

11.介质过滤器的再生方法，其特征在于，包括对用于从溶剂中分散有不溶微粒成分的分散液或分散物中除去微粒成分的过滤中使用的、使用后的树脂制介质过滤器照射频率30kHz以上的超声波。

12.根据权利要求11所述的再生方法，超声波的输出功率为0.1~3.0W/cm²。

13.根据权利要求11或12所述的再生方法，包括相对于使用后的树脂制介质过滤器，使液体以与使用时相反的方向透过而进行清洗。

14.过滤器再生装置，其特征在于，具备超声波发生装置，所述超声波发生装置能对浸渍于清洗液中的使用后的树脂制介质过滤器照射频率30kHz以上的超声波。

15.根据权利要求14所述的过滤器再生装置，所述超声波发生装置为具有频率调制功能的超声波振动器。

16.根据权利要求14或15所述的过滤器再生装置，其在适当的位置具有使所述过滤器再生装置内的声压保持均一所需程度的个数的超声波振动器。

17.根据权利要求14~16中任一项所述的过滤器再生装置，进一步具有一边照射超声波一边使树脂制介质过滤器自转或公转的功能。

18.根据权利要求14~17中任一项所述的过滤器再生装置，进一步具有相对于所述介质过滤器，使所述清洗液以与使用時相反的方向透过的功能。

19.根据权利要求14~18中任一项所述的过滤器再生装置，进一步具有控制所述清洗液的温度的机构。

20.根据权利要求14~19中任一项所述的过滤器再生装置，可以同时装填多个树脂制介质过滤器，且可将装填的多个树脂制介质过滤器同时或依次再生。