[发明专利]慢波传输线路

权利要求书

1.一种慢波传输线路，包括：

信号线，其包括第一阻抗线路和第二阻抗线路，所述第二阻抗线路比所述第一阻抗线路长，并且，所述第二阻抗线路具有比所述第一阻抗线路的阻抗大的阻抗，通过所述第一阻抗线路和所述第二阻抗线路的重复布置来形成所述信号线；

地线；以及

条形线，其连接到所述地线，并与所述信号线交叉。

2.如权利要求1所述的慢波传输线路，其中，通过形成在半导体基板上的多个导电层和绝缘层来构造所述信号线、所述地线以及所述条形线；并且

其中，所述第一阻抗线路包括：

在所述多个导电层之中的最顶层导电层中形成的信号线路，其形成所述信号线的一部分；

在所述最顶层导电层中形成的接地，其形成所述地线的一部分；

空气桥，其形成在位于所述最顶层导电层下方的一层处的导电层中，并形成所述条形线；以及

通孔，其将所述接地连接到所述空气桥。

3.如权利要求1所述的慢波传输线路，其中，通过形成在半导体基板上的多个导电层和绝缘层来构造所述信号线、所述地线以及所述条形线；并且

其中，所述第一阻抗线路包括：

在所述多个导电层中的最顶层导电层中形成的信号线路，其形成所述信号线的一部分；

在所述最顶层导电层中形成的接地，其形成所述地线的一部分；

辅助信号线路，其形成在所述多个导电层中的至少一层中，其形成所述信号线路的一部分，并且形成在所述信号线路的下方；

空气桥，其形成在位于形成所述辅助信号线路的导电层下方的一层处的导电层中，并形成所述条形线；

通孔，其将所述接地连接到所述空气桥；以及

短路通孔，其将所述信号线路连接到所述辅助信号线路。

4.如权利要求1-3中的任一项所述的慢波传输线路，其中，通过形成在半导体基板上的多个导电层和绝缘层来构造所述信号线、所述地线以及所述条形线；并且

其中，所述第二阻抗线路包括：

在所述多个导电层中的最顶层导电层中形成的信号线路，其形成所述信号线的一部分；以及

在所述最底层金属层中形成的接地，其形成所述地线的一部分。

5.如权利要求1-3中的任一项所述的慢波传输线路，其中，通过形成在半导体基板上的多个导电层和绝缘层构造所述信号线、所述地线以及所述条形线；并且

其中所述第二阻抗线路包括：

在所述多个导电层之中的最顶层导电层下方的导电层中形成的信号线路，其形成所述信号线的一部分；以及

在所述多个导电层中的最底层导电层中形成的接地，其形成所述地线的一部分。

6.如权利要求1所述的慢波传输线路，其中，在形成所述第一阻抗线路的信号线路中形成狭缝。

7.如权利要求1所述的慢波传输线路，其中，将所述慢波传输线路分支或合并的二分支电路配备有具有调整功能的阻抗调整元件，使得所述慢波传输线路的阻抗与所述二分支电路的阻抗匹配。

8.如权利要求1所述的慢波传输线路，其中，包括在所述慢波传输线路中形成的弯曲的结构配备有能够调整所述弯曲内侧的相位旋转量与所述弯曲外侧的相位旋转量的相位调整元件。

9.一种使用根据权利要求1至8的任一项所述的慢波传输线路的半导体集成电路。