[发明专利]静电电容式振动传感器

权利要求书

1.一种静电电容式振动传感器，其具备：

基板，其具有空洞部；

振动电极板，其在所述基板的上面侧与所述空洞部相对配置，接受振动而进行膜振动；

固定电极板，其与所述振动电极板相对配置，并开设有沿厚度方向贯通的多个声音孔，其特征在于，

在所述空洞部的周围的至少一部分，在所述基板的上表面与所述振动电极板的下表面之间具有使所述振动电极板及所述固定电极板间的空间与所述空洞部连通的空气路径部，

在所述振动电极板或所述基板的面向所述空气路径部的部位形成有排气部，该排气部用于使该空气路径部的空气向所述振动电极板的厚度方向排出。

2.如权利要求1所述的静电电容式振动传感器，其特征在于，所述排气部为设于所述振动电极板的贯通孔。

3.如权利要求2所述的静电电容式振动传感器，其特征在于，所述贯通孔的直径比所述声音孔的直径小。

4.如权利要求2所述的静电电容式振动传感器，其特征在于，从垂直于所述振动电极板的方向观察，所述贯通孔配置在与所述声音孔不重合的位置。

5.如权利要求1所述的静电电容式振动传感器，其特征在于，所述排气部为设于所述基板的孔或槽。