[发明专利]滚筒装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于塑料的片材或薄膜等覆盖层、膜状的电子仪器制造(卷对卷(roll to roll)方式)和该片材、薄膜等的搬运的滚筒装置。

背景技术

例如，在专利文献1中，提出了在径向和推力方向上采用静压气体轴承的滚筒装置。

专利文献1：日本专利特开平11-190338号公报

发明的公开

发明所要解决的技术问题

然而，为了能将上述滚筒装置用于塑料的片材或薄膜等覆盖层、膜状电子仪器制造(卷对卷方式)和该片材、薄膜等的搬运，要求例如抖动精度为1μm以下这样的更高的旋转精度、降低旋转摩擦、提高旋转速度。

本发明基于上述各方面问题发明而成，其目的在于提供一种能实现更高旋转精度、降低旋转摩擦、提高旋转速度的滚筒装置。

解决技术问题所采用的技术方案

本发明的滚筒装置包括：中空滚筒体；轴体，该轴体隔着缝隙地插通于滚筒体的中空部，且其两端部从滚筒体突出；以及一对静压气体轴承，这一对静压气体轴承被分别配置在滚筒体的两端部，并且被分别设置在滚筒体与轴体之间，一方的静压气体轴承包括：一方的轴承体，该轴承体具有与滚筒体的内周面隔着轴承缝隙地相对的径向轴承面和与固接于滚筒体的一端部的中空圆板状的板的一个面隔着轴承缝隙地相对的推力轴承面，且上述轴承体被固接于轴体；另一方的轴承体，该轴承体具有与上述板的另一个面隔着轴承缝隙地相对的推力轴承面，且上述轴承体被固接于轴体；环状的连结体，该连结体被设置在上述板与轴体之间，并用于将一方的轴承体与另一方的轴承体连结；供气通路，该供气通路形成于一方的轴承体、另一方的轴承体以及连结体，能供应所要从一方的轴承体的径向轴承面供应至轴承缝隙的气体、所要从一方的轴承体的推力轴承面供应至轴承缝隙的气体、以及所要从另一方的轴承体的推力轴承面供应至轴承缝隙的气体；一方的排气通路，该排气通路形成于板，从而能将从一方的轴承体的径向轴承面供应至轴承缝隙的气体排放至轴体的一端部侧，且将从一方的轴承体的推力轴承面供应至轴承缝隙的气体从该轴承缝隙的外周侧排放至轴体的一端部侧；以及另一方的排气通路，该排气通路形成于连结体和另一方的轴承体，能将从一方的轴承体的推力轴承面供应至轴承缝隙的气体从该轴承缝隙的内周侧排放至轴体的一端部侧，并且将从另一方的轴承体的推力轴承面供应至轴承缝隙的气体从该轴承缝隙的内周侧排放至轴体的一端部侧，另一方的静压气体轴承包括：轴承体，该轴承体具有与滚筒体的内周面隔着缝隙地相对的径向轴承面，并被固接于轴体；供气通路，该供气通路形成于该轴承体，能供应所要从该轴承体的径向轴承面供应至轴承缝隙的气体；排气通路，该排气通路形成于另一方的静压气体轴承的轴承体，能将从该轴承体的径向轴承面供应至轴承缝隙的气体和从一方的静压气体轴承的一方轴承体的径向轴承面供应至轴承缝隙的气体排放至轴体的另一端部侧。

根据本发明的滚筒装置，特别是由于包括了上述一方的静压气体轴承和另一方的静压气体轴承，因此，能提高滚筒体的旋转精度，能减轻滚筒体的重量来实现旋转摩擦的降低和旋转速度的提高，并能增大一方的静压气体轴承和另一方的静压气体轴承的径向上的轴承直径，此外，一方的静压气体轴承由于在推力方向上也以非接触的方式支承滚筒体，因此，能减少轴体等的热膨胀的影响，通过用一方的静压气体轴承在径向和推力方向上以非接触的方式支承以及用另一方的静压气体轴承在径向上以非接触的方式支承，能使滚筒体的另一方的静压气体轴承侧的部位自由，从而能减少轴向的热膨胀的影响，而且，能将分别供应至轴承缝隙的气体(压缩气体)流畅地排放至滚筒装置的外部，从而能防止基于该气体的不稳定排放而引起的滚筒体的旋转精度降低、旋转摩擦增大以及旋转速度降低。

在本发明的滚筒装置的较为理想的例子中，排气通路包括：环状通路，该环状通路在轴体的长度方向上与从一方的静压气体轴承的径向轴承面得到气体供应的轴承缝隙相邻，并且形成于板的一个面；以及连通路，该连通路与上述环状通路连通，并在板的另一个面上开口。

在本发明的滚筒装置的较为理想的例子中，排气通路包括：环状缝隙，该环状缝隙形成在板的内周面与连结体的外周面之间；以及通路，该通路穿过连结体和板而形成，并在板的另一个面上开口；以及连通路，该连通路与上述通路连通，并在上述环状缝隙处开口。

发明效果

根据本发明，能得到一种实现更高旋转精度、降低旋转摩擦、提高旋转速度的滚筒装置。

附图说明

图1是本发明实施方式的例子的局部省略后的剖视图。

图2是图1所示例子的II-II线截面向视图。