[发明专利]用于缺陷检查的图像数据的处理装置及方法、使用它们的缺陷检查装置及方法、使用它们的板状体的制造方法、以及存储介质

权利要求书

1.一种处理装置，所述处理装置为用于缺陷检查的图像数据的处理装置，所述缺陷检查是使用在使板状体在规定方向上进行相对移动的同时对该板状体进行拍摄而获得的图像来检查存在于所述板状体的缺陷，其特征在于，

具有处理部，所述处理部使用第一信号阈值从所述图像中提取多个缺陷候补，并从提取出的多个缺陷候补中沿所述规定方向即移动方向搜索与所述移动方向正交的宽度方向的位置相同的缺陷候补，求出通过搜索检测出的缺陷候补在所述板状体的移动方向上的位置和与所述检测出的缺陷候补在移动方向上相邻的缺陷候补在移动方向上的位置之间的间隔，反复进行上述处理，由此取得多个间隔，求出该多个间隔的产生频率，在关注间隔的产生频率超过设定的频率阈值时，判断为所述板状体在所述移动方向上具有周期性缺陷，

在所述处理部使用的所述频率阈值根据所述关注间隔确定，在两个频率阈值确定为不同的值时，以使用于确定较大的频率阈值的所述关注间隔为比用于确定较小的频率阈值的所述关注间隔小的值的方式设定所述频率阈值。

2.如权利要求1所述的处理装置，其中，

所述处理部具有表示所述缺陷候补的产生密度和所述第一信号阈值之间的关系的参照表，以使缺陷候补的产生密度达到设定的目标产生密度的方式使用所述参照表设定所述第一信号阈值，

所述频率阈值是除了根据所述关注间隔变化之外还根据所述目标产生密度的值变化的值。

3.如权利要求1所述的处理装置，其中，

假设噪声成分在区域中随机分布，将所述宽度方向的位置处于相同位置的噪声成分作为所述缺陷候补，通过解析求出所述噪声成分相对于所述间隔的产生频率，或者将由噪声成分形成的模拟图像中的所述噪声成分的图像作为缺陷候补，求出所述噪声成分相对于所述间隔的产生频率，基于该求出的产生频率确定在所述处理部使用的所述频率阈值。

4.如权利要求3所述的处理装置，其中，

所述模拟图像以图像中的噪声成分的产生密度根据图像的区域而不同的方式生成。

5.如权利要求1所述的处理装置，其中，

所述处理部将用于搜索所述缺陷候补的搜索对象的图像在所述宽度方向及所述移动方向上分割为多个而形成多个相同尺寸的单元区域，当包含多个缺陷候补的多个单元区域在所述宽度方向上处于相同位置时，设这些缺陷候补彼此在所述宽度方向的位置相同，求出所述间隔及所述产生频率。

6.如权利要求1所述的处理装置，其中，

所述处理部进而对于判断为具有周期性结果的所述缺陷候补的所述关注间隔，求出表示所述宽度方向的位置上的所述产生频率的分布的宽度方向产生频率分布，使用该宽度方向产生频率分布中的沿所述宽度方向的所述产生频率的偏差对缺陷产生图案进行分类。

7.如权利要求1所述的处理装置，其中，

所述板状体是在所述移动方向上连续的长方形状的板状体，

所述处理部将所述板状体划分成设定长度的板状体的区域，将该区域的图像作为一个时间序列单位的检查对象，对多个时间序列单位进行所述判断。

8.如权利要求7所述的处理装置，其中，

所述处理部对所述多个时间序列单位存储根据所述间隔和所述宽度方向的位置确定的所述间隔的产生频率分布，根据存储的产生频率分布确定关注间隔和所述宽度方向的位置并求出产生频率，将该产生频率作为时间序列数据表示，由此对缺陷的产生信息进行画面显示。

9.如权利要求8所述的处理装置，其中，

所述处理部对于所述产生频率的时间序列数据，将改变了所述关注间隔及所述宽度方向的位置中的至少一个的多个产生频率的时间序列数据重叠地标注在同一曲线图中而进行画面显示。

10.如权利要求1所述的处理装置，其中，

所述处理部在沿所述移动方向搜索并检测出所述宽度方向的位置相同的缺陷候补时，除了将相邻的缺陷候补作为前一个缺陷候补而求出所述移动方向的间隔之外，反复求出与多个之前的缺陷候补之间的移动方向的间隔，由此取得多个间隔，求出该多个间隔的产生频率，在关注间隔的产生频率超过设定的频率阈值时，判断为所述板状体在所述移动方向上具有周期性缺陷。