[发明专利]氟化物气体的制造方法无效
| 申请号： | 200980128444.0 | 申请日： | 2009-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN102099286A | 公开（公告）日： | 2011-06-15 |
| 发明（设计）人： | 胁雅秀;薮根辰弘;宫本和博;平野一孝 | 申请（专利权）人： | 斯泰拉化工公司 |
| 主分类号： | C01B9/08 | 分类号： | C01B9/08;C01B25/10;C01B33/107;C01B35/06;C01G17/04;C01G28/00 |
| 代理公司： | 北京北翔知识产权代理有限公司 11285 | 代理人： | 苏萌;钟守期 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氟化物 气体 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种氟化物气体的制造方法，其特征在于，通过将包含能与氟原子形成多原子离子的原子的化合物加入氟化氢溶液中，使得在氟化氢溶液中生成该多原子离子，
从而生成由所述氟原子和能与该氟原子形成多原子离子的所述原子构成的氟化物气体。
2.权利要求1所述的氟化物气体的制造方法，其特征在于，通过使溶解了所述多原子离子的氟化氢溶液接触载气，将氟化物气体提取到载气中。
3.权利要求1所述的氟化物气体的制造方法，其特征在于，使用氟化氢气体作为所述载气。
4.权利要求1所述的氟化物气体的制造方法，其特征在于，通过使氟化氢从溶解了所述多原子离子的氟化氢溶液中蒸发，生成氟化物气体。
5.权利要求1所述的氟化物气体的制造方法，其特征在于，所述多原子离子是从BF4-离子、SiF62-离子、GeF62-离子、PF6-离子及AsF6-离子构成的群中选择的至少任意一种。
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