[发明专利]原子层淀积设备和装载方法

权利要求书

1.一种原子层淀积(ALD)反应器系统，包括：

多个ALD反应器，所述多个ALD反应器相对于彼此成一式样地放置，每个所述ALD反应器能够接收一批用于ALD处理的基底，每个所述ALD反应器包括能够从顶部接近的反应室；以及

装载机器人，其包括抓持部分和运动机构，所述装载机器人能够执行多个装载序列，以装载所述多个ALD反应器中的每一个，每个所述装载序列包括：

通过所述抓持部分拾取位于存储区域或架中的承载有一批基底的基底保持器；以及

通过所述运动机构将带有所述一批基底的所述基底保持器移入目标ALD反应器的所述反应室中。

2.根据权利要求1所述的ALD反应器系统，其中，所述装载机器人在每个装载序列中能够将所述基底保持器从所述反应室的顶部竖直地降低至反应室中，而不需经过单独的装载室。

3.根据权利要求1所述的ALD反应器系统，其中，所述系统的所述ALD反应器的数量为两个或三个。

4.根据权利要求1所述的ALD反应器系统，其中，每个所述ALD反应器包括：

盖系统，所述盖系统包括与反应室盖结合的反应器盖或真空室盖；以及

提升机构，其能够将所述盖系统提升以用于装载所述反应室。

5.根据权利要求1所述的ALD反应器系统，包括围绕所述多个ALD反应器、装载机器人和存储区域或架的高效空气微粒过滤器罩。

6.根据权利要求1所述的ALD反应器系统，能够通过单个机器人执行所述装载序列，而无须人工操作员。

7.根据权利要求1所述的ALD反应器系统，其中，所述装载机器人能够在ALD处理后执行多个卸载序列，以卸载所述多个ALD反应器中的每一个，每个所述卸载序列包括：

通过所述抓持部分从目标ALD反应器中拾取承载有ALD处理过的一批基底的基底保持器；以及

通过所述运动机构将带有ALD处理过的一批基底的所述基底保持器移送到所述存储区域或架。

8.一种方法，包括：

操作相对于彼此以一式样地放置的多个ALD反应器，其中每个所述ALD反应器能够接收一批用于ALD处理的基底，且每个所述ALD反应器包括能够从顶部接近的反应室；

通过装载机器人执行多个装载序列，以装载所述多个ALD反应器中的每一个，每个所述装载序列包括：

拾取位于存储区域或架中的承载有一批基底的基底保持器；以及

将带有所述一批基底的所述基底保持器移入目标ALD反应器的所述反应室中。

9.根据权利要求8所述的方法，其中，在每个所述装载序列中，所述装载机器人将所述基底保持器从所述反应室的顶部竖直地降低至反应室中，而不需经过单独的装载室。

10.根据权利要求8所述的方法，其中，所述系统的所述ALD反应器的数量为两个或三个。

11.根据权利要求8所述的方法，其中，每个所述ALD反应器包括盖系统，所述盖系统包括与反应室盖结合的反应器盖或真空室盖，该方法包括：

将所述盖系统提升以用于装载所述反应室。

12.根据权利要求8所述的方法，包括：

将高效空气微粒过滤器罩布置为围绕所述多个ALD反应器、装载机器人和所述存储区域或架，从而形成局部无尘室。

13.根据权利要求8所述的方法，其中，所述装载序列通过单个机器人执行，而无须人工操作员。

14.根据权利要求8所述方法，还包括在ALD处理后由所述装载机器人执行多个卸载序列，以卸载所述多个ALD反应器中的每一个，每个所述卸载序列包括：

从目标ALD反应器中拾取承载有ALD处理过的一批基底的基底保持器；以及

将带有ALD处理过的一批基底的所述基底保持器移送到所述存储区域或架。

15.一种原子层淀积(ALD)反应器系统，包括：

ALD反应器，其能够接收一批用于ALD处理的基底，并且包括能够从顶部接近的反应室；以及

装载机器人，其包括抓持部分和运动机构，所述装载机器人能够执行装载序列，以装载所述ALD反应器，所述装载序列包括：

通过所述抓持部分拾取位于存储区域或架中的承载一批基底的基底保持器；以及

通过所述运动机构将带有所述一批基底的所述基底保持器移入所述ALD反应器的所述反应室中。