[发明专利]超声波清洗装置

权利要求书

1.一种超声波清洗装置，其特征在于，具备：

对传送液赋予超声波能量的超声波振动件；

使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的传送液流动的超声波传送管；

配置在所述超声波传送管的下方的保持被清洗物的保持机构；

向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面供给清洗液的清洗液供给机构，

所述超声波传送管配置成其侧面与通过由所述清洗液供给机构向所述清洗面供给清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜接触。

2.根据权利要求1所述的超声波清洗装置，其特征在于，

还具备：收容所述超声波传送管的一端及配置成与该一端对置的所述超声波振动件的箱体；向所述箱体内供给传送液的传送液供给装置；调整所述传送液的溶解气体浓度的溶解气体浓度调整器；回收从所述超声波传送管的另一端排出的传送液的传送液回收槽；将所述传送液回收槽内的传送液再次向所述箱体内供给的循环泵。

3.一种超声波清洗装置，其特征在于，具备：

对清洗液赋予超声波能量的超声波振动件；

使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的清洗液流动的超声波传送管；

配置在所述超声波传送管的下方的保持被清洗物的保持机构；

设置在所述超声波传送管的侧壁且用于向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面喷出所述清洗液的狭缝或多个孔。

4.根据权利要求3所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述超声波传送管配置成其侧面与通过从所述狭缝或多个孔向所述清洗面喷出所述清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜接触。

5.一种超声波清洗装置，其特征在于，具备：

对传送液赋予超声波能量的超声波振动件；

使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的传送液流动的超声波传送管；

在所述超声波传送管的外侧以覆盖该超声波传送管的方式配置的清洗液供给管；

配置在所述清洗液供给管的下方的保持被清洗物的保持机构；

设置在所述清洗液供给管上的导入清洗液的导入口；

设置在所述清洗液供给管的侧壁且用于将从所述导入口导入的清洗液向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面喷出的狭缝或多个孔。

6.根据权利要求5所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述清洗液供给管配置成其侧面与通过从所述狭缝或多个孔向所述清洗面喷出清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜接触。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述超声波振动件配置成与所述超声波传送管的一端对置，在所述超声波传送管的一端设置有一个或多个凸缘部。

8.根据权利要求1～6中任一项所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述超声波振动件配置成与所述超声波传送管的一端对置，所述超声波传送管的一端具有随着接近所述超声波振动件而管的内径变大的锥形形状。

9.根据权利要求1、5、6中任一项所述的超声波清洗装置，其特征在于，

在所述超声波传送管的另一端设有吸收超声波能量的衰减体。

10.一种超声波清洗装置，其特征在于，具备：

超声波振动件，其对传送液赋予超声波能量；

超声波传送管，其为使由所述超声波振动件赋予了超声波能量的传送液流动的超声波传送管，形成为内侧的管与外侧的管的双重管结构，所述传送液被从所述内侧的管的一端导入，从所述内侧的管的另一端喷出，所述喷出的传送液通过所述外侧的管的内侧面而被从所述外侧的管的侧面排出；

保持机构，其配置在所述超声波传送管的下方且保持被清洗物；

清洗液供给机构，其向由所述保持机构保持的被清洗物的清洗面供给清洗液，

所述超声波传送管配置成所述外侧的管的外侧面与通过由所述清洗液供给机构向所述清洗面供给清洗液而在该清洗面形成的该清洗液的液膜接触。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的超声波清洗装置，其特征在于，

所述传送液为纯水，且所述纯水中的溶解气体浓度调整成2～4.5ppm。