[发明专利]铈氧化物粒子的液体悬浮液和粉末、其制备方法及其在抛光中的用途

权利要求书

1.铈氧化物粒子在液相中的悬浮液，其特征在于这些粒子(二级粒子)具有至多200nm的平均尺寸，这些二级粒子由如下的初级粒子构成：该初级粒子由TEM测定的尺寸具有至多150nm的平均值，所具有的标准偏差的值为所述平均尺寸值的至多30％，并且由TEM测定的平均尺寸与由BET测定的平均尺寸之比为至少1.5。

2.权利要求1的悬浮液，其特征在于所述初级粒子具有显示出标准偏差为上述平均尺寸值的至多20％的尺寸。

3.权利要求1的悬浮液，其特征在于所述初级粒子具有显示出标准偏差为上述平均尺寸值的至多15％的尺寸。

4.前述权利要求之一的悬浮液，其特征在于所述初级粒子具有至多130nm的平均尺寸。

5.前述权利要求之一的悬浮液，其特征在于所述液相为水。

6.权利要求1-4之一的悬浮液，其特征在于所述液相为有机溶剂。

7.制备权利要求1-5之一的悬浮液的方法，其特征在于它包括以下步骤：

-(a)制备还包含铈IV的胶态分散体的铈III盐的溶液；

-(b)使该溶液与碱在惰性气氛下接触，由此获得沉淀物；

-(c)在惰性气氛下对前一步骤获得的介质施以热处理，步骤(a)、(b)或(c)的至少之一在硝酸根离子存在下进行；

-(d)相继但以任意顺序对如此获得的介质进行酸化和洗涤，由此获得悬浮液。

8.权利要求7的方法，其特征在于步骤(a)的铈III盐的溶液以1/5000至1/500，更特别地1/4000至1/2000的Ce IV/全部铈的摩尔比含有铈IV。

9.权利要求7或8的方法，其特征在于在实施步骤(a)、(b)或(c)的至少之一的过程中以NO₃^-/Ce³⁺摩尔比表示的硝酸根离子的含量为1/3至5。

10.权利要求7-9之一的方法，其特征在于热处理在至多95℃的温度下进行。

11.制备权利要求6的悬浮液的方法，其特征在于使权利要求1-5之一的悬浮液或者借助于权利要求7-10之一的方法获得的悬浮液与该有机溶剂接触。

12.铈氧化物粒子的可再分散粉末，其特征在于，在液相中再分散之后，其产生权利要求1-6之一的悬浮液。

13.用于抛光的悬浮液，其特征在于它包含权利要求1-6之一的悬浮液，或者借助于权利要求7-11之一的方法获得的悬浮液，或者通过权利要求12的粉末再分散于液相中而获得的悬浮液。