[发明专利]控制设备的运动尤其是芯片键合设备的放置工具的运动的方法

权利要求书

1.一种对设备，尤其是芯片键合设备的放置工具，具有N≥2的自由度x₁，...，x_N-1，z的运动进行控制的方法，所述方法包括以下步骤

a.)确定近似目标x-位置x_end^app＝(x_1，end^app，...，x_N-1，end^app)，

b.)计算第一z-轨迹z_up(t)，

c.)计算所述设备从开始x-位置x_start到所述近似目标x-位置x_end^app的运动的近似x-轨迹x^app(t)＝(x₁^app(t)，...，x_N-1^app(t))，

d.)通过控制系统使所述设备开始从起点q^app(0)＝(x_start，z_up(0))沿着第一轨迹q^app(t)＝(x^app(t)，z_up(t))运动，

e.)一旦在时刻t_corr获得修正的目标x-位置x_end＝(x_1，end，...，x_N-1，end)，则

(i)确定满足x^corr(t_blend)＝x^app(t_blend)的到x_end的修正的目标x-轨迹x^corr(t)＝(x₁^corr(t)，...，x_N-1^corr(t))，其中t_corr≤t_blend以及

(ii)对于t≥t_blend，通过所述控制系统使所述设备沿着第二轨迹q^corr(t)＝(x^corr(t)，z_up(t))运动，

f.)确定使x^corr(t₂)＝x_end的最早时刻t₂：＝min{t|x^corr(t)＝x_end}，

g.)计算从最大z-位置z_max到目标z-位置z_end的第二z-轨迹z_down(t)以使

(i)对于t＜t₂，对于给定的安全高度z₂有z_down(t)＞z₂，其中，z_max＞z₂＞z_end以及

(ii)对于t_down＞t_blend的某些时刻，z_down(t_down)＝z_up(t_down)＝z_max，以及

h.)对于t＞t_down，通过所述控制系统使所述设备沿着第三轨迹q_final(t)＝(x^corr(t)，z_down(t))运动。

2.根据权利要求1所述的方法，其中对于速度、加速度和/或跃度的给定最大值，每个轨迹都是时间最佳的。

3.根据权利要求1所述的方法，其中对于速度、加速度和/或跃度的给定最大值，每个轨迹被实施为使运动时间最小化的在时间上连接的一系列三阶多项式。

4.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中每个轨迹由所述控制系统确定或计算。

5.根据前述任一项权利要求所述的方法，其中所述控制系统是分布式控制系统，并包括运动控制单元和计算单元，所述运动控制单元和所述计算单元以不能预测的延迟通信。