[发明专利]互连基板、偏差测定方法及测试装置

说明书

技术领域

本发明涉及布线基板、偏差测定方法及测试装置。本申请与下述美国专利申请相关、且主张下述美国专利申请的优先权。对于认可文献通过参照而被并入的指定国，下述专利申请中所记载的内容通过参照的方式而被结合到本申请中，成为本申请的一部分。

申请号12/199,811    申请日2008年8月28日

背景技术

测试半导体设备、电子设备等的被测试设备的测试装置，通过将测试信号提供给被测试设备、将被测试设备的输出信号与预先确定的期望值信号进行比较，对被测试设备实施测试。测试装置在调节测试信号的相位、频率等之后，将测试信号提供给被测试设备。

例如，在专利文献1中记载有通过经差动驱动器将差动信号提供给被测试设备的差动端子、测试输出差动信号的被测试设备的测试装置(参照专利文献1)。专利文献1的测试装置调节差动信号的偏差，以使得在被测试设备的差动端子处差动信号正确地交叉。

专利文献1：特开2005-293808

发明内容

本发明要解决的技术问题

近年来，伴随着半导体设备的高速增长，要求高精度地校正测试装置的输出管脚间的偏差。另外，希望低价地、短时间地对该偏差进行校正。

因此，在本发明的一个方面，其目的是为了提供一种能够解决上述问题的布线基板、偏差测定方法及测试装置。该目的通过在权利要求书中的独立权利要求中所记载的特征的组合而实现，另外，从属权利要求限定了本发明的更有利的具体实施例。

解决本发明的技术问题的技术手段

根据本发明的第1方式，提供一种布线基板，用于测量通过将包含第1信号和第2信号的测试信号提供给被测试设备来测试被测试设备的测试装置中的输出管脚之间的偏差，该布线基板包括：与应输出第1信号的第1输出管脚耦连的第1端子；与应输出第2信号的第2输出管脚耦连的第2端子；将第1端子和第2端子二者连接起来的连接节点；连接于测量输入信号的过渡定时的定时测量电路的输出节点；连接第1端子和连接节点的第1布线；连接第2端子和连接节点的第2布线；和连接连接节点与输出节点的第3布线；其中，第1布线和第2布线被形成得长度相同。上述布线基板中的第1布线和第2布线可以被形成得长度相同且最短。

在上述布线基板中，上述测试装置包括定时测量电路以及与定时测量电路连接的输入端子，上述布线基板的输出节点可以是与上述测试装置的输入端子耦连的第3端子。上述布线基板还包括定时测量电路，输出节点可以是定时测量电路的输入节点。另外，在上述布线基板中，上述测试装置的第1输出管脚输出的第1信号是测试信号的正相信号，上述测试装置的第2输出管脚输出的第2信号可以是测试信号的负相信号。

根据本发明的第2方式，提供一种偏差测定方法，用于测定通过将包含第1信号和第2信号的测试信号提供给被测试设备来测试被测试设备的测试装置中的输出管脚之间的偏差，该偏差测定方法包括：准备上述布线基板的步骤；将输出第1信号的测试装置的第1输出管脚与布线基板的第1端子耦连、以及将输出第2信号的测试装置的第2输出管脚与布线基板的第2端子耦连的步骤；和通过测量输出节点的相对于参考电压的电压，来测量第1输出管脚与第2输出管脚之间的偏差的步骤。

在上述偏差测定方法中，测量偏差的步骤可以包括：在将第2输出管脚维持在高电平或者低电平的状态下，从第1输出管脚输出第1信号，测量输出节点的电压与、基于第2输出管脚的电平和第1信号的过渡状态的关系所确定的第1参考电压、一致时的第1定时的步骤；在将第1输出管脚维持在高电平或者低电平的状态下，从第2输出管脚输出第2信号，测量输出节点的电压与、基于第1输出管脚的电平和第2信号的过渡状态的关系所确定的第2参考电压、一致时的第2定时的步骤；和根据第1定时和第2定时的差测量偏差的步骤。

在上述偏差测定方法中，第1输出管脚输出测试信号的正相信号，第2输出管脚输出测试信号的负相信号，测量偏差的步骤可以根据在输出节点产生的尖峰电压的值测量偏差。在上述偏差测定方法中，第1信号和第2信号分别是同一测试信号的正相信号和负相信号；测量偏差的步骤包括输出同一测试信号的步骤，其可以根据在输出节点产生的尖峰电压的值来测量偏差。

根据本发明的第3方式，提供一种测试装置，用于通过将包含第1信号和第2信号的测试信号提供给被测试设备来测试被测试设备，该测试装置包括：输出第1信号的第1输出管脚；输出第2信号的第2输出管脚；测量输入信号的定时的定时测量电路；和上述布线基板。

上述发明的概要所列举的并不都是本发明的必要特征。另外，这些特征的子组合也可以形成本发明。

附图说明