[发明专利]借助蚀刻的薄层太阳能电池组件的边缘去除有效
申请号: | 200980133349.X | 申请日: | 2009-08-05 |
公开(公告)号: | CN102138214A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | O·多尔;I·科勒 | 申请(专利权)人: | 默克专利股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/142 | 分类号: | H01L27/142;H01L31/048;H01L31/20 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 邓毅 |
地址: | 德国达*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 借助 蚀刻 薄层 太阳能电池 组件 边缘 去除 | ||
1.太阳能电池的湿化学边缘去除的方法,特征在于,将蚀刻膏局部施涂于衬底表面的边缘上,并且在进行了反应之后除去膏残渣,以及任选地以合适方式清洁并且干燥衬底表面。
2.根据权利要求1的方法,特征在于,为了蚀刻步骤将蚀刻膏以宽度约1-2厘米施涂于衬底表面的边缘上。
3.根据权利要求1的方法,特征在于,在一个蚀刻步骤中以一步蚀刻由掺杂和未掺杂的半导体层如硅、a-Si-和μ-Si-(p-i-n和n-i-p)层、Ge和其合金,或由GaAs及其三元和四元混合物,或者由III-IV-和II-IV-半导体构成的层,
和由金属或金属合金如Al、Ag、Cu、Ni、Cr、Mo、Ta、Ti、V、W、Zn、TixWy、NixVy、TaxNy、TixNy构成的层,和/或由氧化物或混合氧化物如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铟(IO)、氧化铝锌(AZO)、氧化锌(ZO)或类似氧化物构成的层。
4.根据权利要求1-3的一项或多项的方法,特征在于,蚀刻在30-100℃范围内的温度下进行。
5.根据权利要求1-4的一项或多项的方法,特征在于,在蚀刻步骤后通过清洗或吹掉和在100-150℃范围内的升高的温度下干燥而除去膏残渣。
6.稳定的膏组合物,其以7∶1∶1.5-10∶1∶3.5范围内的比例包含85%的H3PO4、NH4HF2和65%的HNO3,以重量计。
7.根据权利要求6的组合物,其以7.5∶1∶1.8-9∶1∶3的范围内的比例包含85%的H3PO4、NH4HF2和65%的HNO3。
8.根据权利要求6或权利要求7的组合物,其包含聚乙烯吡咯烷酮和聚烯烃颗粒作为增稠剂。
9.根据权利要求6-8的一项或多项的组合物,其包含聚乙烯吡咯烷酮、聚烯烃颗粒和氨基官能化的聚丙烯酸。
10.根据权利要求6-8的一项或多项的膏组合物用于“太阳能电池组件”边缘去除的应用。
11.根据权利要求6-8的一项或多项的膏组合物用于蚀刻以下层的应用:由掺杂和未掺杂的半导体层如硅、a-Si-和μ-Si-(p-i-n和n-i-p)层、Ge和其合金,或由GaAs及其三元和四元混合物,或者由II-IV-和II-VI-半导体构成的层,
和由金属或金属合金如Al、Ag、Cu、Ni、Cr、Mo、Ta、Ti、V、W、Zn、TixWy、NixVy、TaxNy、TixNy构成的层,和/或由氧化物或混合氧化物如氧化铟锡(ITO)、氧化铟锌(IZO)、氧化铟(IO)、氧化铝锌(AZO)、氧化锌(ZO)或类似氧化物构成的层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的