[发明专利]具有多孔单元的抛光垫以及制造和使用该抛光垫的方法

权利要求书

1.一种包括多个抛光单元的抛光垫，各个抛光单元固定到支撑层，以便限制抛光单元相对于一个或多个其他抛光单元的横向运动，但是仍保持在正交于抛光单元的抛光表面的轴线上的可运动性，其特征在于，

抛光单元的至少一个包括多孔抛光单元；

并且其中，各多孔抛光单元的至少一个表面包括多个小孔。

2.一种抛光垫，包括：具有第一主侧和对立于第一主侧的第二主侧的支撑层；

固定到支撑层的第一主侧的多个抛光单元；

导向板，其具有第一主表面和对立于第一主表面的第二主表面，该导向板布置成将多个抛光单元放置在第一主侧上，并使第一主表面远离支撑层；

其中，抛光单元自导向板的第一主表面沿大体上正交于第一主侧的第一方向延伸；

其中，抛光单元的至少一个包括多孔抛光单元；

并且其中，各多孔抛光单元的至少一部分包括多个小孔。

3.如权利要求2所述的抛光垫，进一步包括：自第一主表面延伸穿过导向板到第二主表面的多个孔，其特征在于，各抛光单元的至少一部分延伸入相应的孔，并且其中，各抛光单元自导向板的第一主表面向外地延伸。

4.如权利要求3所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元的一部分穿过相应的孔。

5.如权利要求4所述的抛光垫，其特征在于，各抛光垫通过支撑层和导向板之间的接触面处的粘结剂固定到第一主侧。

6.如权利要求4所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元具有凸缘，并且其中，各抛光单元通过相应凸缘与导向板的第二主表面的接合固定到第一主侧。

7.如权利要求3所述的抛光垫，其特征在于，所述多个孔布置为孔的阵列，并且其中，孔的至少一部分包括主孔和底割区域，并且其中，底割区域形成保持相应抛光单元凸缘的台肩。

8.如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，所述导向板包括聚合物、共聚物、聚合混合物、聚合组合物或它们的组合。

9.如权利要求2所述的抛光垫，其中所述导向板将所述抛光单元保持在所述第一方向，同时允许抛光元件独立地相对于抛光垫沿着第一方向进行移动。

10.如权利要求2所述的抛光垫，进一步包括覆盖导向板的第一主表面的至少一部分的抛光剂分布层。

11.如权利要求10所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光剂分布层包括至少一个亲水聚合物。

12.如权利要求10所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元沿第一方向在包括抛光剂分布层的平面之上延伸至少大约0.25毫米。

13.如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元沿第一方向在包括支撑层的平面之上延伸至少大约0.25毫米。

14.如权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元沿第一方向在包括支撑层的平面之上延伸至少大约0.25毫米。

15.如权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于，大体上所有的抛光单元包括多孔抛光单元。

16.如权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于，所述包括各多孔抛光单元的多个小孔大体上分布在整个多孔抛光单元上。

17.如权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于，各多孔抛光单元包括远离第一和第二主侧的抛光表面。

18.如权利要求17所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元的至少一部分包括多个小孔。

19.如权利要求18所述的抛光垫，其特征在于，所述包括抛光表面的多个小孔包括多个具有横截面形状的槽，该横截面形状选自下列形状组成的组：圆柱形、三角形、矩形、梯形、半球形和它们的组合。

20.如权利要求19所述的抛光垫，其特征在于，各槽在第一方向上的深度在大约100微米到大约7500微米之间。

21.如权利要求19所述的抛光垫，其特征在于，各槽的横截面面积在大约75平方微米到大约3×10⁶平方微米的范围。

22.如权利要求1或2所述的抛光垫，其特征在于，腔被限定在一个或多个抛光单元内。