[发明专利]功能薄膜部分的转移方法

权利要求书

1.一种用于将功能薄膜(1)部分转移到基片(200)上的方法，所述功能薄膜通过粘合结构(20)最初保持在底板(100)上，所述粘合结构(20)包括：

-分离膜(2)，

-第一胶层(3)，其将所述分离膜保持在所述底板上，以及

-第二胶层(4)，其将所述功能薄膜保持在所述分离膜上，

所述方法包括以下步骤：

/1/形成第一槽(S1)，其穿过围绕所述功能薄膜部分的功能薄膜(1)的厚度(e₁)，从而将所述功能薄膜部分从所述功能薄膜的剩余部分中隔离，

/2/将所述功能薄膜部分从所述底板(100)上分离，以及

/3/露出由所述功能薄膜部分承载的第二胶层部分(4p)，并且通过所述功能薄膜部分将所述第二胶层部分应用到基片(220)上，以便将所述功能薄膜部分粘附到所述基片上，

其特征在于：

-所述第一槽(S1)还穿过所述分离膜(2)的厚度(e₂)，以便将与所述功能薄膜部分一起的所述分离膜部分(2p)从所述分离膜的剩余部分中隔离，以及

-通过所述第二胶层(4)将所述分离膜(2)固定在所述功能薄膜(1)上的固定要比通过所述第一胶层将所述分离膜(2)固定在所述底板(100)上的固定更强，

这样，在步骤/2/中，所述功能薄膜部分与所述分离膜部分(2p)一起从所述底板(100)上分离，所述功能薄膜和分离膜的各自部分通过所述第二胶层部分(4p)牢固地固定在一起，以及

在步骤/3/起始时，通过剥离所述分离膜部分(2p)使得所述第二胶层部分(4p)暴露于外，

并且该方法还包括在所述第一槽(S1)和所述功能薄膜部分的有用部分(1p)之间形成第二槽(S2)，其形成在所述功能薄膜部分的至少一侧上，所述第二槽穿过所述功能薄膜的厚度(e₁)，并且可能穿过所述第二胶层(4)的至少一部分，但不穿过所述分离膜的厚度(e₂)，并且将所述功能薄膜部分的边缘(1m)从所述功能薄膜部分的所述有用部分中隔开，

并且在步骤/3/起始时，通过所述功能薄膜部分的有用部分(1p)外的所述功能薄膜部分的所述边缘(1m)来抓住所述分离膜部分，将分离膜部分(2p)剥离。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述粘合结构(20)中，所述分离膜(2)和所述第一胶层(3)之间的第一界面最初具有第一释放力，其介于4和20g/cm之间，

并且在所述粘合结构(20)中，所述分离膜(2)和所述第二胶层(4)之间的第二界面最初具有第二释放力，其介于12和28g/cm之间，

所述释放力是根据MI-47标准确定的。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述分离膜(2)在其两个相对表面上预先覆盖有硅树脂，所述两个表面随后分别与所述第一胶层(2)和所述第二胶层(4)相接触。

4.根据前述任一权利要求所述的方法，其特征在于，在步骤/2/中，通过所述功能薄膜部分的有用部分(1p)外的所述边缘(1m)来抓住所述功能薄膜部分，将所述功能薄膜部分从所述底板(100)上分离。

5.根据前述任一权利要求所述的方法，其特征在于，在所述第一槽(S1)之前形成所述第二槽(S2)。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，在与所述底板(100)相对的所述功能薄膜的一个表面上，所述中间膜(5)在所述第二槽(S2)和第一槽(S1)的各形成层之间连接到所述功能薄膜(1)，

所述第一槽(S1)还穿过所述中间膜(5)的厚度(e₅)，以便将与所述功能薄膜部分一起的所述中间膜部分(5p)从所述中间膜的剩余部分中隔开，以及

在步骤/2/中，所述功能薄膜部分从所述底板(100)上分离，同时牢固地连接在所述中间膜部分(5p)上。

7.根据权利要求6所述的方法，还包括以下步骤，所述步骤在步骤/2/和/3/之间执行：

-通过连接工具(7)，将所述中间膜部分(5p)连接到可变形的辅助膜(6)上，

-通过所述功能薄膜部分的有用部分(1p)外的功能薄膜部分的所述边缘(1m)，抓住所述分离膜部分，剥离所述分离膜部分(2p)，随后

-所述辅助膜(6)变形，从而所述功能薄膜部分的形状随着所述辅助膜的变形而改变。