[发明专利]用于制造稀土金属-Ba2Cu3O7-δ薄膜的组合物和方法无效
申请号: | 200980134064.8 | 申请日: | 2009-07-13 |
公开(公告)号: | CN102138232A | 公开(公告)日: | 2011-07-27 |
发明(设计)人: | 保罗·克莱门;辛西娅·埃德尼;唐纳德·欧维迈尔;杰弗里·道雷;迈克尔·贝克尔;迈克尔·西耶加尔 | 申请(专利权)人: | 齐纳基能量股份有限公司;三帝公司 |
主分类号: | H01L39/24 | 分类号: | H01L39/24;C23C18/12 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 丁香兰;庞东成 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 稀土金属 ba sub cu 薄膜 组合 方法 | ||
1.一种组合物,所述组合物包含:
钡金属-有机化合物;
一种或多种稀土金属-有机化合物;
铜金属-有机化合物;
在大气压下沸点高于230℃的高沸点溶剂;
其中所述组合物还包含卤代有机溶剂,和/或其中一种或多种所述钡金属-有机化合物、所述一种或多种稀土金属-有机化合物和所述铜金属-有机化合物包含卤素;
其中所述高沸点溶剂与稀土金属在所述组合物中的摩尔比为1~10∶1;并且
其中钡与稀土金属在所述组合物中的摩尔比小于2.1∶1,并且其中铜与钡在所述组合物中的摩尔比大于3∶2。
2.如权利要求1所述的组合物,其中所述一种或多种稀土金属-有机化合物包含钇金属-有机化合物。
3.如权利要求1所述的组合物,其中所述高沸点溶剂与稀土金属在所述组合物中的摩尔比为2~3∶1。
4.如权利要求1所述的组合物,所述组合物还包含在20℃时粘度低于10厘泊的低粘度溶剂。
5.如权利要求4所述的组合物,其中所述低粘度溶剂为丙酮。
6.如权利要求4所述的组合物,其中所述组合物包含卤代有机溶剂,并且其中所述低粘度溶剂不与所述卤代有机溶剂反应生成H2O。
7.如权利要求1所述的组合物,其中所述高沸点溶剂为二乙醇胺。
8.如权利要求7所述的组合物,其中所述铜金属-有机化合物为铜与二乙醇胺的络合物。
9.如权利要求8所述的组合物,其中所述钡金属-有机化合物为三氟乙酸钡,所述稀土金属-有机化合物为稀土三氟乙酸盐。
10.如权利要求8所述的组合物,其中所述组合物不包含卤代有机溶剂。
11.如权利要求1所述的组合物,其中所述钡金属-有机化合物为乙酸钡,所述一种或多种稀土金属-有机化合物为一种或多种稀土金属乙酸盐,其中所述铜金属-有机化合物为乙酸铜,并且其中所述组合物包含卤代有机溶剂。
12.如权利要求11所述的组合物,其中所述卤代有机溶剂为三氟乙酸。
13.如权利要求1所述的组合物,其中所述卤素与钡在所述组合物中的摩尔比为6~180∶1。
14.如权利要求13所述的组合物,其中卤素与钡在所述组合物中的摩尔比为35~45∶1。
15.如权利要求1所述的组合物,其中铜与钡在所述组合物中的摩尔比为3~3.8∶2。
16.如权利要求1所述的组合物,其中钡与稀土金属在所述组合物中的摩尔比为2∶1~1.5。
17.如权利要求4所述的组合物,其中所述低粘度溶剂与钡在所述组合物中的摩尔比为1~75∶1。
18.如权利要求4所述的组合物,其中所述低粘度溶剂与钡在所述组合物中的摩尔比为15~35∶1。
19.如权利要求1所述的组合物,其中所述组合物包含卤代有机溶剂,并且其中所述卤代有机溶剂选自由卤代伯醇、卤代仲醇、卤代叔醇、卤代酮、卤代脂肪族酮、卤代芳香烃、卤代杂环化合物、卤代羟基醚、卤代二醇和卤代羧酸组成的组。
20.如权利要求4所述的组合物,其中所述低粘度溶剂选自由醇、酮、芳香烃、杂环化合物、羟基醚和二醇组成的组。
21.如权利要求1所述的组合物,其中所述高沸点溶剂选自由二乙醇胺、三乙醇胺和甘油组成的组。
22.如权利要求1所述的组合物,其中所述组合物还包含提高所述组合物的粘度的试剂。
23.如权利要求22所述的组合物,其中提高所述组合物的粘度的所述试剂选自由聚乙烯吡咯烷酮(PVP)、三羟基甲基乙烷(THME)、1,3-丙二醇、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、二羟基甲基丙酸、聚乙二醇(PEG)和乙基纤维素组成的组。
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