[发明专利]用于高速固化在低温衬底上的薄膜的方法和装置

权利要求书

1.一种固化装置，包括：

频闪头，其具有闪光灯；

频闪控制模块，其用于控制由所述闪光灯产生的多个脉冲的功率、持续时间和重复速率；以及

传送器控制模块，其与所述频闪控制模块一起，用于实时同步所述多个脉冲的所述重复速率与所述衬底在所述频闪头下方移动的速度。

2.根据权利要求1的固化装置，其中所述闪光灯是氙闪光灯。

3.根据权利要求2的固化装置，其中所述氙闪光灯能够以高至1kHz的脉冲重复速率产生10μs到10ms的脉冲。

4.根据权利要求2的固化装置，其中所述氙闪光灯的光谱成分的范围为200nm到2500nm。

5.根据权利要求1的固化装置，其中所述固化装置还包括用于冷却所述衬底的气刀。

6.根据权利要求1的固化装置，其中所述固化装置还包括用于通过传导从所述衬底驱热的辊。

7.根据权利要求1的固化装置，其中所述闪光灯是定向等离子弧灯。

8.根据权利要求1的固化装置，其中所述固化装置还包括用于在所述频闪头下方输运所述衬底的传送器系统。

9.根据权利要求8的固化装置，其中所述固化装置还包括用于向所述传送器系统供应所述衬底的供应器。

10.根据权利要求1的固化装置，其中所述固化装置还包括用于感测衬底在所述频闪头下方移动的速度的传感器。

11.一种用于固化在低温衬底上的薄膜的方法，所述方法包括：

通过闪光灯产生具有预定的功率、持续时间和重复速率的多个脉冲；以及

在所述闪光灯下方输运衬底层，以便通过来自所述闪光灯的所述多个脉冲来固化位于所述衬底层上的膜，其中所述衬底层以与所述多个脉冲的所述重复速率同步的速度移动，并且由所述多个脉冲对所述膜进行多次曝光。

12.根据权利要求11的方法，其中通过卷到卷系统传送所述衬底层。

13.根据权利要求11的方法，其中所述方法还包括在所述膜与所述衬底层之间插入热阻挡层。