[发明专利]具有浮动单元的抛光垫以及制造和使用该抛光垫的方法

权利要求书

1.一种包括多个抛光单元的抛光垫，各个抛光单元粘结到支撑层的主侧，以便限制抛光单元相对于一个或多个其他抛光单元的横向运动，但是仍在大体上正交于抛光单元的抛光表面的轴线上是可运动的。

2.一种抛光垫，包括：具有第一主侧和对立于第一主侧的第二主侧的支撑层；

粘结到支撑层的第一主侧的多个抛光单元，其中，各抛光单元具有暴露的抛光表面；以及

其中，抛光单元自支撑层的第一主侧沿大体上正交于第一主侧的第一方向延伸。

3.如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元在不使用粘附剂的情况下粘结到支撑层的第一主侧。

4.如权利要求3所述的抛光垫，进一步包括导向板，该导向板包括自第一主表面延伸穿过导向板到第二主表面的多个孔，其特征在于，各抛光单元的至少一部分延伸入相应的孔，并且其中，各抛光单元自导向板的第二主表面向外地延伸。

5.如权利要求4所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元的一部分穿过相应孔。

6.如权利要求4所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元具有凸缘，并且其中，各抛光单元通过相应凸缘与支撑层的接合固定到第一主侧。

7.如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，所述导向板包括聚合物、共聚物、聚合混合物、聚合组合物或它们的组合。

8.如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，所述导向板维持抛光单元沿第一方向的方位，同时允许抛光单元独立地沿第一方向相对于导向板移动。

9.如权利要求2所述的抛光垫，其特征在于，进一步包括覆盖导向板的第一主表面的至少一部分的抛光剂分布层。

10.如权利要求1所述的抛光垫，其特征在于，进一步包括覆盖支撑层的第一主侧的至少一部分的抛光剂分布层。

11.如权利要求9或10所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元沿第一方向在包括抛光剂分布层的平面之上延伸至少大约0.25毫米。

12.如权利要求9或10所述的抛光垫，其特征在于，至少一些抛光单元具有与抛光剂分布层的暴露表面对齐的抛光表面。

13.如权利要求9或10所述的抛光垫，其特征在于，至少一些抛光单元具有在抛光剂分布层的暴露表面之下凹陷的抛光表面。

14.如权利要求12或13所述的抛光垫，其特征在于，抛光剂分布层包括具有硬度小于抛光单元的磨损材料。

15.如权利要求9或10所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光剂分布层包括至少一个亲水聚合物。

16.如权利要求9或10所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光剂分布层包括泡沫。

17.如权利要求1、2、9或10中任一项所述的抛光垫，进一步包括固定到正对于支撑层的主侧一侧的柔性层和抛光单元。

18.如权利要求17所述的抛光垫，其特征在于，所述柔性层通过柔性层和支撑层之间的接触面处的粘附剂层被固定到支撑层。

19.如权利要求17所述的抛光垫，其特征在于，所述柔性层包括选自下列材料的聚合材料：硅、天然橡胶、苯乙烯-丁二烯橡胶、氯丁(二烯)橡胶、聚亚安酯、聚乙烯以及它们的组合物。

20.如权利要求9或10所述的抛光垫，其特征在于，所述抛光剂分布层的适应性小于柔性层的适应性。

21.如权利要求17所述的抛光垫，进一步包括压力灵敏粘附层，该粘附层被固定到正对于多个抛光单元的柔性层。

22.如权利要求1、2、9或10中任一项所述的抛光垫，其特征在于，各抛光单元沿第一方向在包括支撑层的平面之上延伸至少大约0.25毫米。

23.如权利要求1、2、9或10中任一项所述的抛光垫，其特征在于，至少其中一个抛光单元包括多孔抛光单元，并且其中，各抛光单元包括多个小孔。

24.如权利要求23所述的抛光垫，其特征在于，大体上所有的抛光单元是多孔抛光单元。

25.如权利要求23所述的抛光垫，其特征在于，包括各多孔抛光单元的小孔在大体上整个抛光单元上分布。