[发明专利]准分子灯及准分子灯单元及紫外线照射装置

权利要求书

1.一种准分子灯，其特征在于，

在内部的放电空间封入有放电用气体的放电管的外表面的不同部位配置一对外部电极，并且分别连接于这些外部电极的一对连接器端子配置在设置于该放电管的端部的连接器部的外表面侧的不同部位。

2.如权利要求1所述的准分子灯，其特征在于，

所述连接器部是放电管的左侧或右侧的端部、且是内部不存在放电空间的部分。

3.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述放电管是左右为长条状且上下形成有平坦面的方形的密闭容器，且在该放电管的上下的平坦面分别配置一对外部电极。

4.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各外部电极由在放电管的外表面形成的金属薄膜构成。

5.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各外部电极由在放电管的外表面配置的金属板构成。

6.如权利要求5所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子由外部电极上的在放电管的连接器部的外表面配置的部分构成。

7.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其隔着多点接触件被按压于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

8.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子由金属板构成，其隔着焊锡层被连接固定于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

9.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其隔着多点接触件被按压于金属片上，其中所述金属片隔着焊锡层被连接固定于外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

10.如权利要求7所述的准分子灯，其特征在于，

所述块状的各连接器端子由一对从两侧夹持固定放电管的连接器部的陶瓷块按压。

11.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述准分子灯放射真空紫外线。

12.如权利要求1或2所述的准分子灯，其特征在于，

所述各连接器端子是块状的端子，其设置在外部电极上的在放电管的连接器部的外表面形成的部分。

13.一种紫外线照射装置，其特征在于，其具备权利要求1或2所述的准分子灯。

14.一种准分子灯单元，其特征在于，其由权利要求1所述的准分子灯和灯座构成，其中所述灯座上设有插座部，在所述插座部中插入并支承该准分子灯的连接器部，并且在该插座部的内侧、且与插入的连接器部上的一对连接器端子接触的位置上，分别配置与准分子灯的电源连接的一对端子接触件。

15.如权利要求14所述的准分子灯单元，其特征在于，

所述各端子接触件由多点接触件构成。

16.如权利要求14所述的准分子灯单元，其特征在于，

所述各端子接触件由金属制的板簧构成。

17.一种紫外线照射装置，其特征在于，其具备权利要求14～16中任一项所述的准分子灯单元。