[发明专利]具有发射电流及偏压电位控制的电离计

权利要求书

1.一种用以测量压力的电离计，其特征在于，包括：

电子源，其发射电子；

阳极，其界定电离空间；

集极电极，其用以收集在所述电离空间中由所述电子与气体之间的碰撞而形成的离子；以及

控制器，其在操作期间响应于在操作期间感测到的压力除外所感测到的参数而主动地控制来自所述电子源的发射电流。

2.如权利要求1所述的电离计，其特征在于，所述控制器进一步控制来自所述电子源的发射电流以作为压力的函数。

3.如权利要求2所述的电离计，其特征在于，所述控制器基于压力以连续可变方式控制所述发射电流。

4.如权利要求2所述的电离计，其特征在于，所述压力的函数可由用户选择。

5.如权利要求1所述的电离计，其特征在于，所述参数是正在测量的环境中的气体的种类。

6.如权利要求1所述的电离计，其特征在于，所述电子源包括阴极，且所述参数是阴极温度。

7.如权利要求6所述的电离计，其特征在于，所述发射电流被控制以在启动期间逐渐增加。

8.如权利要求6所述的电离计，其特征在于，所述阴极温度由所述阴极的电阻指示。

9.如权利要求6所述的电离计，其特征在于，所述阴极温度由红外传感器指示。

10.如权利要求6所述的电离计，其特征在于，所述阴极温度由所述阴极的光学参数指示。

11.如权利要求1所述的电离计，其特征在于，所述参数是穿过所述集极电极的集极电流。

12.如权利要求11所述的电离计，其特征在于，所述发射电流被控制以维持所述集极电流固定，且所述发射电流指示压力。

13.如权利要求12所述的电离计，其特征在于，在第一压力范围内，所述集极电流被保持为固定电平，且在第二压力范围内，允许所述集极电流变化。

14.如权利要求1所述的电离计，其特征在于，进一步包括存储在存储器中并由用户选择的多个发射电流简档。

15.如权利要求1所述的电离计，其特征在于，压力信号是由所述所收集的离子形成。

16.一种测量气体压力的方法，其特征在于，包括以下步骤：

从电子源产生电子；

基于压力除外所感测到的参数而动态地调整来自所述电子源的发射电流；

传输所述电子穿过界定电离空间的阳极以形成离子；以及

收集所述离子。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，进一步包括控制来自所述电子源的发射电流以作为压力的函数。

18.如权利要求17所述的方法，其特征在于，基于压力以连续可变方式调整所述发射电流。

19.如权利要求17所述的方法，其特征在于，由用户选择所述压力的函数。

20.如权利要求16所述的方法，其特征在于，所述参数是正在测量的环境中的气体的种类。

21.如权利要求16所述的方法，其特征在于，所述参数是所述电子源的阴极温度。

22.如权利要求21所述的方法，其特征在于，调整所述发射电流以在启动期间逐渐增加。

23.如权利要求21所述的方法，其特征在于，由所述阴极的电阻指示所述阴极温度。

24.如权利要求21所述的方法，其特征在于，由红外传感器指示所述阴极温度。

25.如权利要求21所述的方法，其特征在于，由所述阴极的光学参数指示所述阴极温度。

26.如权利要求16所述的方法，其特征在于，所述参数是穿过所述集极电极的集极电流。

27.如权利要求26所述的方法，其特征在于，调整所述发射电流以维持所述集极电流固定，且所述发射电流指示压力。

28.如权利要求27所述的方法，其特征在于，在第一压力范围中，将所述集极电流保持为固定电平，且在第二压力范围中允许所述集极电流变化。