[发明专利]转动率传感器装置的耦合结构、转动率传感器装置和制造方法

权利要求书

1.用于转动率传感器装置的耦合结构(40，60，80，90，100，110，120，130，140，150，160，170，180)，包括：

至少一个第一振动质量(42a)，

包围第一振动质量(42a)的第一框架，第一振动质量(42a)与第一框架耦合，

其中，第一框架包括四个角形元件(10a，10b，10c，10d，92a，92b，112)，这些角形元件(10a，10b，10c，10d，92a，92b，112)中的每个具有至少一个第一臂(14a)和至少一个第二臂(14b)并以第一臂(14a)和第二臂(14b)分别耦合到这四个角形元件(10a，10b，10c，10d，92a，92b，112)中的另一个相邻的角形元件(10a，10b，10c，10d，92a，92b，112)上。

2.根据权利要求1的耦合结构，其中，第一框架的这些角形元件(10a，10b，10c，10d，92a，92b，112)中的每个围绕一个优选延伸通过相应的角形元件(10a，10b，10c，10d，92a，92b，112)的转动轴(16)可旋转地设置。

3.根据权利要求1或2的耦合结构，包括：

至少一个第二振动质量(42a’)，以及

包围第二振动质量(42a’)的第二框架，第二振动质量(42a’)与第二框架耦合，并且第二框架由四个相互耦合的角形元件(10a’，10b’，10c’，10d’，92a，92b，112)形成。

4.根据权利要求3的耦合结构，其中，第一框架的至少两个角形元件(10a，10b，10c，10d，92a，92b，112)和第二框架的至少两个角形元件(10a’，10b’，10c’，10d’，92a，92b，112)分别以一个臂在共同点(82)、梁(132，134)或者摆杆(162，164，182，184)上这样地耦合，使得第一框架的在共同点(82)、梁(132，134)或者摆杆(162，164；182，184)上耦合的两个角形元件(10a，10b，10c，10d，92a，92b，112)的运动对应于第二框架的在共同点(82)、梁(132，134)或者摆杆(162，164；182，184)上耦合的两个角形元件(10a’，10b’，10c’，10d’，92a，92b，112)的运动。

5.根据权利要求3或4的耦合结构，其中，至少一个角形元件(92a，92b，112)是第一框架和第二框架的组成部分，作为第一框架和第二框架的组成部分的所述角形元件(92a，92b，112)被构造为T形的角形元件(92a，92b)或者十字形的角形元件(112)。

6.用于转动率传感器装置的耦合结构(190，200)，包括：

通过第一弹簧(44)相互连接的第一振动质量(42a)和第二振动质量(42b)，

通过第二弹簧(44’)相互连接的第三振动质量(42a’)和第四振动质量(42b’)，

其中，第一振动质量(42a)和第三振动质量(42a’)这样地耦合到第一梁或摆动装置(132，182)上并且第二振动质量(42b)和第四振动质量(42b’)这样地耦合到第二梁或摆动装置(134，184)上，使得在第一梁或摆动装置(132，182)的第一运动相对于第二梁或摆动装置(134，184)的第二运动反相时，第一振动质量(42a)可被置入第一振动运动中，该第一振动运动相对于第二振动质量(42b)可被置入的第二振动运动反相。

7.根据权利要求6的耦合结构(190，200)，其中，这些振动质量(42a，42a’，42b，42b’)中的至少一个通过弹簧弹性的元件连接到衬底上。

8.转动率传感器装置，包括

根据权利要求1至7之一的耦合结构(40，60，80，90，100，110，120，130，140，150，160，170，180，190，200)，

传感器与分析处理装置，其被设计用于在第一振动质量(42a)沿着第一振动方向的第一振动运动中确定第一振动质量(42a)在一个相对于第一振动方向不平行的偏差方向上的由科里奥利力引起的偏差运动并且在考虑所确定的第一振动质量(42a)在偏差方向上的偏差运动的情况下确定关于转动率传感器装置的旋转的信息。