[发明专利]用于物理气相沉积腔室的遮盘

权利要求书

1.一种遮盘(shutter disk)，包含：

一碟状主体，该主体包含：

一顶表面；

一底表面；

一外径部(outer diameter)，设置于该顶表面及该底表面之间；以及

一双重梯部，连接该底表面至该外径部。

2.如权利要求1所述的遮盘，其中该双重梯部更包含：

一外梯部及一内梯部，该外梯部相对于该内梯部更延伸进入该主体。

3.如权利要求2所述的遮盘，其中该主体更包含：

一外壁，连接该外梯部至该内梯部，且该外壁实质平行于该主体的一中心线。

4.如权利要求3所述的遮盘，其中该内梯部及该外梯部实质垂直于该主体的该中心线。

5.如权利要求1所述的遮盘，其中该主体更包含：

一环状沟槽，形成于该底表面中而设置在该双重梯部的径向内侧。

6.如权利要求5所述的遮盘，其中该双重梯部更包含：

一外梯部及一内梯部，该外梯部延伸进入该主体的程度大于该内梯部，但少于该环状沟槽。

7.如权利要求1所述的遮盘，其中该主体更包含：

一盲孔，形成于该主体的该底表面中，且该盲孔的一中心线与该主体的一中心线为共直线(co-linear)。

8.如权利要求1所述的遮盘，其中该主体是由铝、铝合金、铝硅合金、金属复合材料及铝硅(AlSi)的至少其中之一所制成；且其中该主体的该顶表面涂覆有一铝涂层。

9.如权利要求1所述的遮盘，其中该主体更包含：

一倾斜表面，耦接该外径部至该顶表面。

10.如权利要求9所述的遮盘，其中该主体更包含：

一盲孔，形成于该主体的该底表面中，且该盲孔的一中心线与该主体的一中心线为共直线。

11.如权利要求9所述的遮盘，其中该双重梯部更包含：

一外梯部及一内梯部，该内梯部相较于该外梯部而更延伸进入该主体中。

12.一种遮盘，包含：

一碟状主体，该主体包含：

一顶表面；

一底表面；

一外径部，设置于该顶表面及该底表面之间；

一外梯部，形成于该底表面上；

一内梯部，形成于该底表面上而位于该外梯部的内侧，该外梯部较该内梯部而更延伸进入该主体；

一外壁，连接该外梯部至该内梯部，且该外壁实质平行于该主体的一中心线；以及

一环状沟槽，形成于该底表面中而位于该内梯部的径向内侧。

13.如权利要求12所述的遮盘，其中该内梯部与该外梯部实质垂直于该主体的该中心线，且该外梯部延伸进入该主体的程度大于该内梯部，但少于该环状沟槽。

14.如权利要求13所述的遮盘，其中该主体更包含：

一盲孔，形成于该主体的该底表面中，且该盲孔的一中心线与该主体的一中心线为共直线。

15.如权利要求13所述的遮盘，其中该主体是由铝、铝合金、铝硅合金、金属复合材料及铝硅(AlSi)中的至少其中之一所制成；以及

其中该顶表面的平均粗糙度介于约600至约800R_a间，且该顶表面涂覆有一双弧喷涂铝涂层。