[发明专利]太阳能电池的制造方法以及制造装置无效

专利信息
申请号: 200980138255.1 申请日: 2009-11-02
公开(公告)号: CN102165601A 公开(公告)日: 2011-08-24
发明(设计)人: 山室和弘;汤山纯平;山根克巳 申请(专利权)人: 株式会社爱发科
主分类号: H01L31/04 分类号: H01L31/04
代理公司: 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 代理人: 杨晶;王琦
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 太阳能电池 制造 方法 以及 装置
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池的制造方法,其特征在于,

形成光电转换体,所述光电转换体具有通过划痕线被分区的多个分区单元,彼此相邻的所述分区单元之间被电连接,

检测所述分区单元上存在的结构缺陷,

将存在所述结构缺陷的位置确定为距离数据,所述距离数据表示最接近所述结构缺陷的所述划痕线与所述结构缺陷之间的距离,

根据所述距离数据,去除存在所述结构缺陷的区域。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,

在确定存在所述结构缺陷的位置时,对包含所述结构缺陷和最接近所述结构缺陷的所述划痕线的区域进行拍摄,通过对所述区域进行拍摄来得到图像,并根据所述图像,将存在所述结构缺陷的位置确定为所述距离数据。

3.根据权利要求1或2所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,

在去除存在所述结构缺陷的区域时,根据所述距离数据,通过照射激光来去除存在所述结构缺陷的区域。

4.一种太阳能电池的制造装置,所述太阳能电池包括光电转换体,所述光电转换体具有通过划痕线被分区的多个分区单元,彼此相邻的所述分区单元之间被电连接,其特征在于,所述太阳能电池的制造装置包括:

缺陷检测部,检测所述分区单元上存在的结构缺陷;

缺陷位置确定部,将存在所述结构缺陷的位置确定为距离数据,所述距离数据表示最接近所述结构缺陷的所述划痕线与所述结构缺陷之间的距离;以及

修复部,根据所述距离数据,去除存在所述结构缺陷的区域。

5.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造装置,其特征在于,

所述缺陷位置确定部包括拍摄装置,所述拍摄装置对包含所述结构缺陷和最接近所述结构缺陷的所述划痕线的区域进行拍摄。

6.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造装置,其特征在于,

所述修复部包括激光装置。

7.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造装置,其特征在于,

所述缺陷位置确定部和所述修复部包括彼此共用的光学系统。

8.根据权利要求4所述的太阳能电池的制造装置,其特征在于,

所述缺陷位置确定部包括:

照相机,通过对所述结构缺陷和所述划痕线进行拍摄从而得到图像;以及

光学系统,变更拍摄倍率以使所述结构缺陷和所述划痕线包含在所述图像中。

9.根据权利要求8所述的太阳能电池的制造装置,其特征在于,

所述缺陷位置确定部和所述修复部包括彼此共用的光学系统,

所述缺陷位置确定部使用与所述划痕线相对应并包含在所述图像中的划痕线图像、以及与所述结构缺陷相对应并包含在所述图像中的结构缺陷图像,以所述划痕线图像的宽度为基准,生成所述结构缺陷图像的位置数据和大小数据,

所述修复部包括:

激光装置,向所述结构缺陷照射激光;以及

激光照射位置移动部,对所述结构缺陷与所述激光装置之间的相对位置进行控制,

所述修复部基于所述结构缺陷图像的所述位置数据和所述大小数据以及所述激光照射目标点,对所述激光照射位置移动部的位置进行控制,

所述激光装置以在所述分区单元上照射所述激光的位置与所述图像中的激光照射目标点一致的状态,向所述分区单元上照射所述激光,去除存在所述结构缺陷的区域。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科,未经株式会社爱发科许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200980138255.1/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top