[发明专利]吸附片

说明书

技术领域

本发明涉及一种安装在用于真空吸附对象物的吸附装置上的吸附片。

背景技术

一直以来，在对金属箔、塑料膜、生片等较薄且较轻的片材或薄膜进行加工的工艺等中，使用用于真空吸附对象物的吸附装置，通过该吸附装置，片材或薄膜被固定或输送。在这种吸附装置中，为了保护对象物等，在吸附面上粘贴具有通气性的多孔质片材(例如参照专利文献1)。

专利文献1：日本特开2001-353788号公报

发明内容

而当对象物是较薄且轻的片材或薄膜时，存在以下情况：在真空吸附时，多孔质片材的表面形状被转印到对象物上，该转印痕迹对最终产品的性能、外观造成不良影响。为了防止转印痕迹，可减小吸引量，减小真空化可实现的压力差。但这样一来，因现有的多孔质片材较厚(例如在专利文献1的实施例中是2mm)，空气也从多孔质片材的侧面被吸入，在其横向泄漏的影响下，无法获得足够的吸附力。

作为解决这一问题的方法，可使用厚度较小的多孔质片材，降低横向的泄漏量。这样一来，即使减小吸引量也可获得足够的吸附力。但因吸附装置的吸附面通常设有用于吸引的凹陷，因此当使用较薄的多孔质片材时，因其刚性较小，多孔质片材通过吸引被吸入到凹陷内，从而大幅变形。这样一来，吸附面的凹陷的边缘经由多孔质片材较强地挤压对象物，吸附痕迹附着到对象物上。

本发明鉴于以上情况，其目的在于提供一种可抑制横向泄漏、且吸附痕迹不易附着到对象物上的吸附片。

为实现上述目的，本发明提供一种吸附片，安装在用于真空吸附对象物的吸附装置的吸附面上，具有：基板，具有与上述吸附面接触的一面，设置了多个通孔；多孔质体，粘贴到上述基板的另一面，以堵塞上述多个通孔，且厚度为1.4mm以下。

通过上述构成，多孔质体的厚度薄达1.4mm以下，因此可抑制来自多孔质体侧面的空气吸入、即所谓横向泄漏。并且，该多孔质体粘贴到设置了通孔的基板上，因此如果减小通孔的大小，则可将多孔质体因吸引而被吸入到通孔内地变形的变形量抑制得较小，通孔的边缘不易挤压对象物。因此，根据本发明，可抑制横向的泄漏，并且吸附痕迹不易附着到对象物上。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式涉及的吸附片安装于吸附装置的吸附面上的状态的截面图。

图2A是图1的IIA-IIA线截面图，图2B是基板的平面图。

具体实施方式

以下参照附图详细说明用于实施本发明的最佳方式。

图1表示本发明的一个实施方式涉及的吸附片1安装到吸附装置4的吸附面4a的状态。吸附装置4用于真空吸附对象物并输送，具有：图1所示的吸附头40；使吸附头40升降的升降机构(未图示)；使吸附头40向水平方向移动的移动机构(未图示)；通过吸引通路41与吸附头40连接的真空泵(未图示)。并且，吸附头40中的与水平面平行的下表面作为用于吸附对象物的吸附面4a。此外，吸附片1不限于用于输送对象物的吸附装置4，也可广泛安装到具有真空吸附功能的其他吸附装置(例如研磨装置、切割装置等加工装置)中。

吸附面4a上设有用于吸引的凹陷42，吸引通路41在该凹陷42的底面上开口。在本实施方式中，如图2A所示，凹陷42由以下部分构成：从吸引通路41向两侧延伸的1个横槽42a；从横槽42a进一步向两侧延伸的4个纵槽42b。各槽42a、42b的宽度例如是10mm。但凹陷42的形状不限于此，可适当选择。例如，凹陷42也可由十字槽及包围它的框状槽构成。或者，凹陷42例如可由以矩阵状配置在吸附面4a上的多个圆形的有底孔构成。

吸附片1具有可堵塞凹陷42的大小(例如与吸附面4a相同程度或比其小一圈的大小)，例如通过双面胶等固定到吸附面4a上。该吸附片1具有一面(图1中为上表面)2a及另一面(图1中为下表面)2b，并具有：一面2a与接触面4a接触的基板2；粘贴到基板2的另一面2b的多孔质体3。

基板2具有适度刚性(例如刚性率(横向弹性模量)为1MPa～300GPa左右)即可，其材质无特别限定。例如作为基板2，可使用由聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚碳酸酯、聚对苯二甲酸乙二醇酯等构成的塑料板，或由不锈钢、铝等构成的金属板，或由硅酮橡胶、丁腈橡胶、乙烯丙烯橡胶、聚氨酯橡胶、天然橡胶等构成的橡胶板。并且，基板2的厚度在塑料板或橡胶板的情况下，例如是0.3～30mm，在金属板的情况下例如是0.2～20mm。