[发明专利]等离子体温度控制装置和等离子体温度控制方法

权利要求书

1.一种等离子体温度控制装置，其特征在于，该装置包括：

等离子体产生部，其使等离子体用气体变为等离子体；

等离子体用气体温度控制部，其控制供给等离子体产生部的等离子体用气体的温度，

该等离子体温度控制装置控制等离子体用气体的温度，控制在等离子体产生部中产生的等离子体的温度。

2.根据权利要求1所述的等离子体温度控制装置，其特征在于，等离子体用气体温度控制部以高于或低于室温的程度控制等离子体用气体的温度。

3.根据权利要求1或2所述的等离子体温度控制装置，其特征在于，等离子体用气体温度控制部以低于室温的程度控制等离子体用气体的温度，使在等离子体产生部中产生的等离子体的温度低于室温。

4.根据权利要求1～3中的任何一项所述的等离子体温度控制装置，其特征在于，等离子体用气体温度控制部包括等离子体用气体的冷却部和加热部；

冷却部对等离子体用气体进行冷却，加热部对已冷却的等离子体用气体进行加热，从而控制等离子体用气体的温度。

5.根据权利要求1～4中的任何一项所述的等离子体温度控制装置，其特征在于，包括测定等离子体温度的温度测定部，

将通过温度测定部测定的等离子体温度反馈给等离子体用气体温度控制部，从而控制等离子体用气体的温度。

6.一种控制等离子体的温度的等离子体温度控制方法，其特征在于，在该方法中：

通过以高于或低于室温的程度控制等离子体用气体的温度的方式控制等离子体的等离子体用气体的温度，将等离子体的温度控制在任意的温度。