[发明专利]用于有机材料的蒸发器

权利要求书

1.一种用于汽化有机材料的蒸发器，包含：

第一腔室，其具有喷嘴，所述喷嘴调适成导向要涂布的衬底；

至少一个第二腔室，用于汽化所述有机材料；

至少一个蒸汽通道，用于将所述汽化的有机材料自所述至少一个第二腔室引导至所述第一腔室；其中

所述第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给所述喷嘴，所述喷嘴对应于第一实质升华表面，且所述至少一个第二腔室的一个或多个腔室调适成在操作期间提供组合的第二升华表面区域，其中所述组合的第二升华表面区域对应于所述第一实质升华表面的至少70％。

2.如权利要求1所述的蒸发器，其特征在于，所述第二升华表面区域对应于所述第一实质升华表面的至少90％，尤其95％。

3.如权利要求1或2所述的蒸发器，其特征在于，所述喷嘴具有纵轴并且在所述纵轴上具有长度L，所述长度L介于约1000mm至约3500mm之间，尤其介于约2000mm至约3000mm之间。

4.如权利要求3所述的蒸发器，其特征在于，所述第一实质升华表面由长度为约170mm的第一尺寸及长度与所述喷嘴相同的第二尺寸来提供。

5.如权利要求1至4的任一项所述的蒸发器，其特征在于，升华表面为所述第一腔室或第二腔室中的被要蒸发的有机材料所覆盖的一腔室的表面，且由加热装置来加热所述表面以使所述有机材料自所述表面蒸发。

6.如权利要求1至5的任一项所述的蒸发器，其特征在于，将阀设置在所述通道中，用于调节所述蒸发的有机材料从所述至少一个第二腔室至所述第一腔室的流动。

7.如权利要求6所述的蒸发器，其特征在于，还包含控制器，其调适成控制所述蒸发的有机材料从所述至少一个第二腔室至所述第一腔室的流动。

8.如权利要求1至7的任一项所述的蒸发器，其特征在于，至少一个加热器设置在选自由蒸汽通道、所述第一腔室、阀及其组合所组成的组中的一个装置处，用于将所述装置基本上加热至所述升华温度。

9.如权利要求1至8的任一项所述的蒸发器，其特征在于，所述至少一个第二腔室包含至少两个彼此分离的腔室，其中所述至少一个第二腔室的各腔室与所述第一腔室流体连接。

10.如权利要求1至9的任一项所述的蒸发器，其特征在于，所述第一腔室及所述喷嘴置于次大气压下的外壳中，且所述至少一个第二腔室置于所述外壳外部。

11.如权利要求1至10的任一项所述的蒸发器，其特征在于，所述喷嘴具有纵轴并且在所述纵轴上具有长度L，所述长度L介于约1000mm至约3500mm之间，尤其介于约2000mm至约3000mm之间。

12.一种使用蒸发器用有机材料涂布衬底的方法，所述蒸发器具有第一腔室及至少一个第二腔室，所述方法包括：

在操作期间，在具有第二升华表面区域的所述至少一个第二腔室中升华所述有机材料；

将所述升华的有机材料从所述至少一个第二腔室引导至所述第一腔室，所述第一腔室具有导向所述衬底的喷嘴，以将所述升华的有机材料沉积在所述衬底上，其中所述第一腔室调适成将汽化的有机材料提供给所述喷嘴，所述喷嘴对应于第一实质升华表面，其中所述第二升华表面区域对应于所述第一实质升华表面的至少70％。

13.如权利要求12所述的方法，其特征在于，所述有机材料的流动通过调节设置在通道中的阀来控制，所述通道用于将所述升华的有机材料自所述至少一个第二腔室引导至所述第一腔室；或通过调节用于升华所述至少一个第二腔室处的所述有机材料的加热装置的温度来控制；或以上述方式的组合来控制。

14.如权利要求12至13的任一项所述的方法，其特征在于，所述有机材料的流动通过调节所述至少一个第二腔室的所述升华表面来控制。

15.一种用于汽化三聚氰胺的蒸发器，包含：

第一腔室，其具有喷嘴，所述喷嘴调适成导向要涂布的衬底；

至少一个第二腔室，用于汽化所述三聚氰胺；

至少一个蒸汽通道，用于将汽化的三聚氰胺自所述至少一个第二腔室引导至所述第一腔室；其中

所述至少一个第二腔室的一个或多个腔室具有约0.34m²或以上的组合升华表面区域。