[发明专利]静电电容型力学量传感器元件及力学量传感器

权利要求书

1.一种静电电容型力学量传感器元件，其特征在于，

具备具有电绝缘性和力学弹性并具有相对的至少一对表面的基材、配置在该基材的所述一对表面的一面的至少一个电极、以及配置在所述一对表面的另一面的至少一个电极，

对于分别从配置在所述一面的电极和配置在所述另一面的电极中各选择一个而得到的两个电极的每一组合，检测电极之间的静电电容。

2.一种静电电容型力学量传感器元件，其特征在于，

具备具有电绝缘性和力学弹性并具有相对的至少一对表面的基材、配置在该基材的所述一对表面的一面的四个电极、以及在所述一对表面的另一面上分别配置在与所述一面的四个电极正对的位置上的四个电极，

对于分别从所述一面的四个电极和所述另一面的四个电极中各选择一个而得到的两个电极的每一组合，检测电极之间的静电电容。

3.如权利要求1或2所述的静电电容型力学量传感器元件，其特征在于，

所述电极由柔性印刷电路板构成。

4.如权利要求1或2所述的静电电容型力学量传感器元件，其特征在于，

利用保护膜来密封整个表面。

5.一种力学量传感器，其特征在于，该力学量传感器具备运算装置，该运算装置包括：

被输入由静电电容型力学量传感器元件测量输出的静电电容值数据的单元，该静电电容型力学量传感器元件具备具有电绝缘性和力学弹性并具有相对的至少一对表面的基材、配置在该基材的所述一对表面的一面的至少一个电极、以及配置在所述一对表面的另一面的至少一个电极，对于分别从配置在所述一面的电极和配置在所述另一面的电极中各选择一个而得到的两个电极的每一组合，检测电极之间的静电电容；

利用所述静电电容值数据、计算配置在所述另一面的电极相对于配置在所述一面的电极的位置的单元；

基于配置在所述另一面的电极的位置、计算配置在所述另一面的电极的中央位置的单元；

基于配置在所述另一面的电极的位置、计算所述另一面相对于所述一面的旋转角度的单元；

利用所述中央位置计算所述基材的应力的单元；以及

利用所述旋转角度计算所述基材的扭转力矩的单元。

6.一种力学量传感器，其特征在于，该力学量传感器具备运算装置，该运算装置包括：

被输入由静电电容型力学量传感器元件测量输出的静电电容值数据的单元，该静电电容型力学量传感器元件具备具有电绝缘性和力学弹性并具有相对的至少一对表面的基材、配置在该基材的所述一对表面的一面的四个电极、以及在所述一对表面的另一面上分别配置在与所述一面的四个电极正对的位置上的四个电极，对于分别从所述一面的四个电极和所述另一面的四个电极中各选择一个而得到的两个电极的每一组合，检测电极之间的静电电容；

利用所述静电电容值数据、计算配置在所述一对表面的另一面的所述四个电极相对于配置在所述一对表面的一面的所述四个电极的位置的单元；

基于所述四个电极的位置、计算所述四个电极的中央位置的单元；

基于所述四个电极的位置、计算所述另一面相对于所述一面的旋转角度的单元；

利用所述四个电极的中央位置计算所述基材的应力的单元；以及

利用所述旋转角度计算所述基材的扭转力矩的单元。