[发明专利]干泵

说明书

技术领域

本发明涉及容积移送式干泵。

本申请基于2008年10月10日申请的特愿2008-263938号主张优先权，在此援用其内容。

背景技术

为了进行排气而利用干泵。干泵具备将转子收容在泵体内的泵室。干泵通过使转子在泵体内旋转，压缩废气并使废气移动，使设置在吸入口的密闭的空间减压以进行排气(例如，参考专利文献1)。特别是进行排气以得到中度真空或良好的真空时，利用从废气的吸入口到排出口串联连接多个泵室的多级干泵(例如，参考专利文献2)。

当运转干泵时，废气在泵室内被压缩而发热，泵体的温度上升。当泵体的温度上升时排气效率下降。因此，目前已知一种在泵体的外周部分形成供制冷剂流通的制冷剂通路，均匀地冷却泵体整体的干泵。

专利文献1：特表2004-506140号公报

专利文献2：特开2003-166483号公报

但是，多级干泵存在其结构上越靠近大气侧(排出侧)的泵室内压越高的情况。因此，越靠近大气侧(排出侧)的泵室发热量也越大。如以往那样，由制冷剂等均匀地冷却泵体整体的结构会在泵室之间产生温度差，无法使干泵整体保持均匀的温度。当在干泵的内部产生温度偏差时，存在干泵局部变形膨胀等导致排气效率下降的课题。

发明内容

为了解决上述课题，本发明的目的在于提供一种通过降低局部温度的不均匀，从而能够提高排气效率的干泵。

为了解决上述课题，本发明提供了如下所示的干泵。

即，本发明的干泵包括：多个泵体；分别形成在所述多个泵体中的泵室；划分相邻的所述泵室之间的隔壁；收容在所述泵室的内部的多个转子；作为所述转子的旋转轴的转子轴；以及形成在所述隔壁的内部以供制冷剂流通的制冷剂通路。

优选在本发明的干泵中，所述制冷剂通路在内压相互不同的多个所述泵室之中至少形成在划分最靠近高压侧的泵室的隔壁的内部。

优选在本发明的干泵中，所述制冷剂通路在从吸入侧向排出侧串联连接的多个所述泵室之中至少形成在划分最靠近排出侧的泵室的隔壁的内部。

优选在本发明的干泵中，所述制冷剂通路在内压相互不同的多个所述泵室之中至少形成在划分当运转时温度最高的泵室的隔壁的内部。

发明效果

根据本发明的干泵，通过在划分多个泵室之中最靠近高压侧的泵室的隔壁的内部形成制冷剂通路以供制冷剂流通，从而能够有效地冷却靠近大气侧(排出侧)的泵室。其结果是消除靠近大气侧(排出侧)的泵室与配置在其前级的泵室之间产生的温度不均衡。通过特别集中冷却靠近大气侧(排出侧)的泵室，能够使转子的转速上升，从而能够实现可提高排气效率并高效运转的干泵。

另外，根据本发明的干泵，通过在划分运转时温度最高的泵室的隔壁的内部形成制冷剂通路以供制冷剂流通，从而能够高效地冷却温度最高的泵室。

附图说明

图1是表示本发明的干泵的侧面剖视图；

图2是表示本发明的干泵的正面剖视图；

图3是表示实施例中的验证结果的图。

具体实施方式

以下，基于附图对本发明所涉及的干泵的最佳方式进行说明。本实施方式是为了更好地理解发明的宗旨而具体进行说明。本发明的技术范围并不限定于下述实施方式，在不脱离本发明的宗旨的范围内可以施加各种变更。另外，在以下说明所使用的各附图中，将各结构要素设为可在附图上识别的大小，因此适宜地使各结构要素的尺寸以及比率与实际不同。

图1是表示本发明的干泵的侧面剖视图。另外，图2为图1的A-A线处的正面剖视图。多级干泵1中，厚度不同的多个转子21、22、23、24、25分别被收容在泵体31、32、33、34、35中。而且，沿着转子轴20的轴向L形成有多个泵室11、12、13、14、15。

干泵1具备一对转子25a、25b、以及一对转子轴20a、20b。一对转子25a、25b被配置为一个转子25a(第一转子)的凸部29p与另一个转子25b(第二转子)的凹部29q啮合。转子25a、25b随着转子轴20a、20b的旋转而在泵体35a、35b的内部旋转。当使一对转子轴20a、20b相互反方向旋转时，配置在转子25a、25b的各个凸部29p之间的气体沿着泵体35a、35b的内表面移动并在排出口6被压缩。

沿着转子轴20的轴向L配置有多个转子21～25。各转子21～25与形成在转子轴20的外周面的槽部26相配合，以限制周向和轴向上的移动。各转子21～25分别被收容在泵体31～35中，构成多个泵室11～15。各泵室11～15从废气的吸入口5向排出口6串联连接，构成多级干泵1。