[发明专利]蒸发器

权利要求书

1.一种用于蒸发材料以便向基材施加涂层的安全壳，所述安全壳包括：

a)以难熔材料制成的至少一个单件式单体主体，所述主体包括用于容纳待蒸发材料的存储部，并具有两个相对的端部，所述端部具有与所述端部关联以允许至少两个所述主体以头对头的方式机械结合的装置，以使每个主体的存储部接合形成连续的内部空间。

2.如权利要求1所述的安全壳，进一步包括：

b)控制蒸汽从所述安全壳排出的装置。

3.如权利要求1所述的安全壳，其特征在于，所述难熔材料从热解氮化硼和以热解氮化硼涂布的热解石墨中选择。

4.如权利要求1所述的安全壳，其特征在于，所述至少一个主体包括柱状壁，并且所述存储部由在该主体中限定轴向孔的柱状壁的内表面提供。

5.如权利要求4所述的安全壳，其特征在于，所述主体包括第一端部部分，所述第一端部部分具有向较小的外径收缩的环状外表面；和与所述第一端部部分相对的第二端部部分，所述第二端部部分具有向更大内径向外扩张的环形内表面，以使一个柱状主体的第一端部部分配置并确定尺寸为接收在另一个柱状主体的第二端部部分内。

6.如权利要求4所述的安全壳，其特征在于，控制蒸汽从所述安全壳排出的装置包括柱状壁上的多个开口，所述开口布置成沿着所述主体长度方向延伸的至少一列，并配置和确定尺寸为控制由此经过的蒸汽。

7.如权利要求2所述的安全壳，其特征在于，所述主体纵向延伸并具有大致U形的横截面，所述存储部由弧形内表面至少部分地限定。

8.如权利要求7所述的安全壳，进一步包括：第一端部部分，所述第一端部部分具有径向延伸的第一弧形凸缘；第二端部部分，所述第二端部部分具有径向延伸的第二弧形凸缘；从所述主体的第一纵向边缘横向延伸的第一线性凸缘；和从所述主体的第二纵向边缘横向延伸的第二线性凸缘。

9.如权利要求8所述的安全壳，其特征在于，所述径向延伸的第一和第二弧形凸缘每一个包括至少一个开口，所述开口对准，从而接收用于将安全壳彼此接合的紧固件。

10.如权利要求8所述的安全壳，其特征在于，所述控制蒸汽排出的装置包括板构件，所述板构件可拆卸地连接到第一和第二线性凸缘，并具有配置并确定尺寸为控制蒸汽通过的多个开口。

11.如权利要求5所述的安全壳，包括：能以头对头的方式可拆卸地连接在一起的两个或更多个主体。

12.如权利要求8所述的安全壳，包括：能以头对头的方式可拆卸地连接在一起的两个或更多个主体。

13.如权利要求12所述的安全壳，进一步包括：设置在相邻的主体的弧形凸缘之间的垫片。

14.如权利要求13所述的安全壳，其特征在于，所述垫片用石墨制成。

15.如权利要求13所述的安全壳，其特征在于，一个主体的端部部分上的第一纵向延伸的弧形凸缘与相邻主体的第二端部部分上的弧形凹部配合，从而悬挂所述垫片并阻止垫片与存储部中的材料发生接触。

16.一种用于蒸发材料以便向基材施加薄膜涂层的安全壳，所述安全壳包括：

a)以难熔陶瓷材料制成的至少一个主体，所述主体包括用于容纳待蒸发材料的存储部；

b)包含在所述主体的至少一个外表面部分中的加热装置；和

c)控制蒸汽从所述安全壳排出的装置。

17.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，所述难熔陶瓷材料包括热解氮化硼。

18.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，所述主体包括包围所述存储部的大致柱状壁，和从所述大致柱状部分延伸的大致沙漏状出口部分。

19.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，所述主体包括纵向延伸的矩形部分。

20.如权利要求19所述的安全壳，其特征在于，所述主体进一步包括从所述矩形部分延伸并具有大致沙漏状截面的顶部部分。

21.如权利要求16所述的安全壳，其特征在于，所述加热装置包括与所述主体的外表面成整体的难熔导体。