[发明专利]太阳能电池的制造方法无效
申请号: | 200980140737.0 | 申请日: | 2009-10-15 |
公开(公告)号: | CN102187470A | 公开(公告)日: | 2011-09-14 |
发明(设计)人: | 高桥明久;石桥晓;中村久三 | 申请(专利权)人: | 株式会社爱发科 |
主分类号: | H01L31/04 | 分类号: | H01L31/04 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 陈万青;王珍仙 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 制造 方法 | ||
1.一种太阳能电池的制造方法,为位于光入射侧的输出功率的上部电极包含以铟(In)、锌(Zn)和锡(Sn)中的任意一种作为基本构成元素的透明导电膜的太阳能电池的制造方法,其特征在于,该方法具备:
使用湿式蚀刻法在形成所述透明导电膜的透明基板的表面形成纹理的工序A,
在所述工序A中,在形成所述纹理时,在所述透明基板上形成金属薄膜,将该金属薄膜作为掩模进行各向异性蚀刻。
2.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,进一步具备工序B,在所述工序A之后,对由所述透明导电膜的形成材料制成的靶施加溅射电压,同时在该靶的表面产生水平磁场来进行溅射,在所述透明基板上形成所述透明导电膜,从而形成所述上部电极,
所述透明导电膜的所述形成材料以铟(In)、锌(Zn)和锡(Sn)中的任意一种作为主要成分。
3.根据权利要求1所述的太阳能电池的制造方法,其特征在于,进一步具备工序B,在所述工序A之后,对由所述透明导电膜的形成材料制成的靶施加溅射电压,同时在所述靶的表面产生水平磁场来进行溅射,在所述透明基板上形成所述透明导电膜,从而形成所述上部电极,
所述形成材料以所述铟、所述锌和所述锡中的至少一种以及氧(O)作为主要成分。
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