[发明专利]具有校准基板和电路的测量装置

说明书

技术领域

本发明涉及具有至少一个校准标样的校准基板，其包括至少两个电接点，每个电接点均用于矢量网络分析仪(vector network analyser)的一个测量端口。本发明还涉及具有嵌入在电路中的至少一个待测电子器件(DUT)的所述电路，所述电路具有电连接至所述电路的电触点。本发明还涉及包括校准基板和电路的测量装置。本发明还涉及使用矢量网络分析仪确定待测电子器件(DUT)的散射参数的方法，所述待测电子器件(DUT)包括一个以上的彼此连接的电子部件，其中，所述待测电子器件嵌入在电路中，矢量网络分析仪的至少一个端口特别地两个端口电连接至包括至少一个校准标样的校准基板，并且所述矢量网络分析仪被校准，接着，校准基板与矢量网络分析仪断开并且所述至少一个端口电连接至电路的电触点。

背景技术

例如，在由多个辅助电路构建成的复杂平面微波电路的发展中，为每个辅助电路或者适当地为各个电子部件分别地确定散射参数是有用的。以此，可以独立地分析和测试各辅助电路或者电子部件的效率。

利用矢量网络分析仪(VNA)进行待测电子器件(DUT)的散射参数的确定。因为在校准期间对于嵌入的DUT的每次测量都必须考虑周围电气环境，因此矢量网络分析的缺点在于只有付出大量的努力才能对嵌入的待测器件(DUT)进行非破坏性测量。

发明内容

本发明的目的是简化与确定嵌入在电路中的待测电子器件的散射参数相关的前述类型的校准基板、电路和测量装置。

根据本发明，该目的借助于具有如下所述的前述类型的校准基板、借助于具有如下所述的的前述类型的电路、和借助于具有如下所述的前述类型的测量装置而实现。本发明的有利实施方式在其它的权利要求中说明。

在前述类型的校准基板中，根据本发明提供如下校准基板：至少一个校准标样的至少一个电接点构造有开关，其中所述开关包括：一个第一电触点，其电连接到所述校准标样的电接点；第二电触点，其构造为用于电连接到所述矢量网络分析仪的测量端口；和第三电触点，其中所述开关构造成使得：在所述第二电触点悬空并且未与任何部件电连接的状态下，所述开关在所述第一电触点和所述第三电触点之间建立电连接，其中所述第一电触点与所述第二电触点之间的电连接和所述第二电触点与所述第三电触点之间的电连接均断开，在所述第二电触点电连接到所述矢量网络分析仪的测量端口的状态下，所述开关断开所述第一电触点与所述第三电触点之间的电连接并建立所述第一电触点与所述第二电触点之间的电连接，其中所述第三电触点与所述第二电触点之间的电连接断开。

这样的校准基板的优点在于多个校准标样能够布置于一个校准基板上，其中所述矢量网络分析仪的测量端口能够总是被正确地连接到的一个校准标样。

在优选实施方式中，所述校准基板被构造为电路板、印刷电路板或者晶圆，所述校准标样利用至少一个开关被构造为所述电路板、所述印刷电路板或者所述晶圆上的集成电路。

在优选实施方式中，从HF技术的观点出发，为使开关的第三电触点以预定的波阻抗终结，所述第三电触点被电连接于HF终端电阻器或者功率转换器。

适当地，所述开关构造成：以电学、机械或光学方法进行在所述第二电触点连接到所述矢量网络分析仪的测量端口或者从所述矢量网络分析仪的测量端口断开时的电连接切换。

在优选实施方式中，所述开关构造成：通过施加预定电压而进行在所述第二电触点连接到所述矢量网络分析仪的测量端口或者从所述矢量网络分析仪的测量端口断开时的电连接切换。

对应前述类型的电路，根据本发明提供如下电路：至少一个待测电子器件的至少一个电接点构造有开关，其中所述开关包括：一个第一电触点，其电连接到所述待测电子器件的电接点；第二电触点，其构造为用于电连接到矢量网络分析仪的测量端口；和第三电触点，其电连接到所述电路，其中所述开关构造成使得：在所述第二电触点悬空并且未与任何部件电连接的状态下，所述开关在所述第一电触点和所述第三电触点之间建立电连接，其中所述第二电触点与所述第一电触点之间的电连接断开且所述第二电触点与所述第三电触点之间的电连接断开，在所述第二电触点电连接到所述矢量网络分析仪的测量端口的状态下，所述开关断开所述第一电触点与所述第三电触点之间的电连接并建立所述第一电触点与所述第二电触点之间的电连接，其中所述第三电触点与所述第二电触点之间的电连接断开。

这样的电路的优点在于矢量网络分析仪能够直接电连接到嵌入在电路中的待测电子器件，而不与电路电接触，且不必将待测电子器件与电路机械分离，从而能够与电路的其余部分的电特性无关地确定待测电子器件的散射参数。