[发明专利]热反应型抗蚀剂材料、使用它的热光刻用层压体以及使用它们的模具的制造方法

权利要求书

1.一种热反应型抗蚀剂材料，其用于使用了氟碳系气体的干蚀刻中，其特征在于，至少含有一种主要氟化物的沸点在200℃以上的元素。

2.根据权利要求1所述的热反应型抗蚀剂材料，其特征在于，在激光的点径内具有热反应区域和非热反应区域两个区域。

3.根据权利要求1或2所述的热反应型抗蚀剂材料，其特征在于，包含不完全氧化物材料、分解性氧化物材料、分解性氮化物材料、分解性碳化物材料、分解性碳酸化物材料、分解性硫化物材料、分解性硒化物材料、熔融性复合金属材料、相变化性复合金属材料、氧化性复合金属材料的任意一个。

4.根据权利要求3所述的热反应型抗蚀剂材料，其特征在于，至少通过氧化、分解、熔融、相变化的任意一个可以形成图案。

5.根据权利要求3或4所述的热反应型抗蚀剂材料，其特征在于，含有不完全氧化物，所述不完全氧化物是选自过渡金属和XII族～XV族元素之中的元素的不完全氧化物。

6.根据权利要求5所述的热反应型抗蚀剂材料，其特征在于，所述不完全氧化物是选自Ti、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zr、Nb、Rh、Ag、Hf、Ta、Au、Al、Zn、Ga、In、Sn、Sb、Pb以及Bi之中的元素的不完全氧化物。

7.根据权利要求6所述的热反应型抗蚀剂材料，其特征在于，所述不完全氧化物是选自Ti、Cr、Mn、Co、Cu、Nb、Ag、Ta、Au、Sn、Pb以及Bi之中的元素的不完全氧化物。

8.根据权利要求3或4所述的热反应型抗蚀剂材料，其特征在于，含有分解性氧化物、分解性氮化物、分解性碳化物、分解性碳酸化物、分解性硫化物、分解性硒化物的任意一项，所述分解性氧化物是选自II、V、VI、VII、VIII、IX、XI、XII、XIV族中除Ag、Au、Pd之外的元素的氧化物，所述分解性氮化物是选自II、VI、VIII、XI、XII族中除Ag、Au之外的元素的氮化物，所述分解性碳化物、所述分解性碳酸化物、所述分解性硫化物、分解性硒化物是从选自II～IX族和XI～XV族的元素的碳化物、碳酸化物、硫化物、硒化物之中选择的化合物。