[发明专利]静电驱动器、微机械部件及用于静电驱动器和微机械部件的制造方法

权利要求书

1.静电驱动器，包括：

一个内框架(16)；

至少一个包围内框架的中间框架(14)；和

一个包围内框架(16)和所述至少一个中间框架(14)的外框架(12)；

其中，内、中间和外框架(12，14，16)中每两个相邻的框架(12，14，16)通过至少一个弹簧元件(22，24，26)相互连接，

通过所述弹簧元件(22，24，26)将内、中间和外框架(12，14，16)的每两个相邻的框架(12，14，16)相互连接，所述弹簧元件(22，24，26)被这样地设置，使得所述弹簧元件(22，24，26)的纵向方向位于一个共同的弹簧纵向轴线(28)上，

以及直接在内框架(16)、所述至少一个中间框架(14)和外框架(12)的平行于所述弹簧纵向轴线(28)定向的框架梁(12a，14a，16a)上设有电极指(30，32)。

2.根据权利要求1所述的静电驱动器，其中，内框架(16)、所述至少一个中间框架(14)和外框架(12)这样地构成，使得能够在设置于内、中间和外框架(12，14，16)的两个相邻的框架(12，14，16)的框架梁(12a，14a，16a)上的电极指(30，32)之间施加电压，以及在两个相邻的框架(12，14，16)之间的所述至少一个弹簧元件(22，24，26)这样地构成，使得通过施加电压能够使这两个相邻的框架(12，14，16)中的第一框架(12，14，16)相对于这两个相邻的框架(12，14，16)中的第二框架(12，14，16)围绕所述弹簧纵向轴线(28)旋转。

3.根据权利要求1或2所述的静电驱动器，其中，设置在内框架(16)、所述至少一个中间框架(14)和外框架(12)的框架梁(12a，14a，16a)上的电极指(30，32)的纵向方向垂直于所述弹簧纵向轴线(28)定向。

4.根据以上权利要求中任一项所述的静电驱动器，其中，所述弹簧元件中的一个将这些中间框架(14)中的一个中间框架与外部的相邻的中间或外框架(12，14)连接的弹簧元件(22，24)具有第一弹簧刚度，所述弹簧元件中的另一个将该中间框架(14)与内部的相邻的内或中间框架(14，16)连接的弹簧元件(24，26)具有不等于第一弹簧刚度的第二弹簧刚度，并且所述第二弹簧刚度小于所述第一弹簧刚度。

5.根据以上权利要求中任一项所述的静电驱动器，其中，设置在内或中间框架(14，16)上的电极指具有第一长度以及设置在外部的相邻的中间或外框架(12，14)上的电极指具有不等于第一长度的第二长度，并且所述第二长度小于所述第一长度。

6.根据以上权利要求中任一项所述的静电驱动器，其中，这些电极指(30，32)中的每个包括下导电区域(40，44)、中间绝缘层(36)和上导电区域(42，46)。

7.微机械部件(10)，包括：

根据权利要求2至6中任一项所述的静电驱动器；和

执行元件(18)，该执行元件这样地与内框架(16)连接，使得通过在设置于内、中间和外框架(12，14，16)的两个相邻的框架(12，14，16)的框架梁(12a，14a，16a)上的电极指(30，32)之间施加电压能够使该执行元件(18)围绕共同的弹簧纵向轴线(28)旋转。

8.用于静电驱动器的制造方法，包括以下步骤：

围绕一个内框架(16)设置至少一个中间框架(14)并且围绕内框架(16)和所述至少一个中间框架(14)设置一个外框架(12)；

其中，内、中间和外框架(12，14，16)中的每两个相邻设置的框架(12，14，16)通过至少一个弹簧元件(22，24，26)连接，并且通过所述弹簧元件(22，24，26)将内、中间和外框架(12，14，16)的每两个相邻的框架(12，14，16)相互连接，所述弹簧元件被这样地设置，使得所述弹簧元件(22，24，26)的纵向方向位于一个共同的弹簧纵向轴线(28)上；以及

直接在内框架(16)、所述至少一个中间框架(14)和外框架(12)的平行于弹簧纵向轴线(28)定向的框架梁(12a，14a，16a)上设置电极指(30，32)。