[发明专利]可旋转溅射靶材支撑圆柱、可旋转溅射靶材、制造可旋转溅射靶材的方法以及涂覆设备

权利要求书

1.一种溅射设备的可旋转靶材装置，其包括：

可旋转靶材基座(4)，用于托持固体靶材圆柱(5)，该固体靶材圆柱具有内轴向面(54)、外轴向面(55)以及连接该内轴向面与该外轴向面的至少一个前面(56)；

其中该可旋转靶材基座包括弹性组件(23；230)、第一面(3)以及第二面(250；81)，该第一面(3)适合该固体靶材圆柱的该内轴向面的形状，且该第二面(250；81)用以托持该固体靶材圆柱外部的该弹性组件。

2.如权利要求1的溅射设备的可旋转靶材装置，其中该弹性组件用以直接接触该固体靶材圆柱的该前面(56)；及/或

其中该弹性组件包括固体组件，该固体组件用以直接接触该固体靶材圆柱的该前面(56)。

3.一种溅射设备的可旋转靶材基座装置，其中该靶材基座装置是用以接收至少一个固体靶材圆柱(5)，该可旋转靶材基座装置包括：

靶材基座圆柱(4)，其具有轴(40)、侧向表面(3)、中间部分(12)、第一末端区域(7)以及与该第一末端区域相对的第二末端区域(9)；以及

至少一个靶材固定装置(11，13)，用以提供靶材调整间隙(28；29)，该靶材调整间隙实质上可平行于至少一个组件而做变化，该至少一个组件选自于下列群组中：该靶材基座圆柱的该侧向表面以及该轴。

4.如权利要求3的可旋转靶材基座装置，其中该靶材固定装置包括选自保持装置(15；23；230)与靶材调整装置(21；27；270)中的至少一个组件，且该靶材调整装置用以提供该靶材调整间隙及/或该靶材调整装置被提供在该靶材调整间隙中；及/或

其中该靶材基座圆柱为管状，且该靶材固定装置用以提供可实质上平行于该轴而做变化的该靶材调整间隙。

5.如权利要求1至4中任一项的可旋转靶材基座装置，其中选自该弹性组件、该靶材固定装置与该靶材调整装置中的至少一个组件包括选自下述群组中的至少一个组件：弹性构件、环形弹性构件、弹簧、碟型弹簧、螺卷弹簧、环形弹簧、环形螺卷弹簧、由平坦金属条所制成的弹簧、由平坦金属条所制成的螺卷弹簧、由平坦金属条所制成的环形弹簧、由平坦金属条所制成的环形螺卷弹簧、导电材料、金属及不锈钢；且/或

其中选自该弹性组件、该靶材固定装置与该靶材调整装置中的至少一个组件是可移除的。

6.如权利要求3至5中任一项的可旋转靶材基座装置，其中该第一与第二末端区域的至少其中一者具有最大外径，其实质上等于或小于该中间部分的外径；及/或

其中该至少一个靶材固定装置(13)的至少其中一者是提供在该第一与第二末端区域的其中至少一个末端区域处且为可移除的。

7.如权利要求3至6中任一项的可旋转靶材基座装置，其中该靶材固定装置用以于该固体靶材圆柱邻近处及/或在该保持装置与该固体靶材圆柱之间提供该靶材调整间隙；及/或

其中该保持装置包括选自下述群组中的至少一个组件：

位于该靶材基座圆柱的该些末端区域其中末端区域处的凸缘(15)、压缩凸缘(24)、凸缘轴承(26)、凸缘固定构件(22)以及用以至少部分容置该靶材调整装置的调整凹部(17；25)；及/或

其中该靶材固定装置用以在该保持装置的该些组件的至少一个组件相邻处及/或在该保持装置的该些组件的两组件之间提供该靶材调整间隙。

8.如权利要求3至7中任一项的可旋转靶材基座装置，其中该至少一个靶材固定装置(15)的至少其中一者包括连接装置(15)，用以连接该靶材基座装置与靶材基座支撑件；及/或

其中该第一末端区域具有连接装置(15)，用以连接该靶材基座装置与靶材基座支撑件；及/或

其中该连接装置形成该至少一个靶材固定装置的其中一者的该保持装置；及/或

其中该第二末端区域(9)具有最大外径，其实质上等于或小于该中间部分的外径，用以提供该至少一个靶材固定装置的至少其中一者。