[发明专利]选择和控制光源带宽的系统方法和装置有效

专利信息
申请号: 200980142619.3 申请日: 2009-10-24
公开(公告)号: CN102204038A 公开(公告)日: 2011-09-28
发明(设计)人: E·菲格罗亚;W·N·帕特洛;J·M·阿尔格特斯 申请(专利权)人: 西默股份有限公司
主分类号: H01S3/10 分类号: H01S3/10
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 顾峻峰;李丹丹
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 选择 控制 光源 带宽 系统 方法 装置
【权利要求书】:

1.一种带宽选择的机构,包括:

色散光学元件,所述色散光学元件具有包括色散反射面的本体,所述色散反射面包括沿着所述色散光学元件的所述反射面沿纵向轴方向延伸的入射区域;

第一端块,所述第一端块设置在所述本体的第一纵向端;

第二端块,所述第二端块设置在所述本体的第二纵向端,所述第二纵向端与所述第一纵向端相反;

第一致动器,所述第一致动器安装在所述色散光学元件第二面上,所述第二面与所述反射面相反,所述第一致动器具有联接到所述第一端块的第一端和联接到所述第二端块的第二端,所述第一致动器可操作而对所述第一端块和所述第二端块施加相等而相反的力,以使所述本体沿着所述本体的纵向轴线和沿正交于所述色散光学元件的所述反射面的第一方向弯曲;以及

第二致动器,所述第二致动器安装在所述色散光学元件第三面上,所述第三面与所述反射面正交,所述第二致动器具有用第一挠曲件联接到所述第一端块的第一端以及用第二挠曲件联接到所述第二端块的第二端,所述第一致动器可操作而对所述第一端块和所述第二端块施加相等而相反的力,以使所述本体沿着所述本体的纵向轴线和沿垂直于所述色散光学元件的所述反射面的第二方向弯曲,所述第二方向也垂直于所述第一方向,所述第二致动器包括加压流体力的施加机构。

2.如权利要求1所述的带宽选择的机构,其特征在于,所述加压流体力施加机构是气动机构。

3.如权利要求1所述的带宽选择的机构,其特征在于,所述加压流体力施加机构是液压机构。

4.如权利要求1所述的带宽选择的机构,其特征在于,所述加压流体力的施加机构是可变的。

5.如权利要求1所述的带宽选择的机构,其特征在于,还包括:

以不变的固定挠度在所述第一致动器和所述第二致动器中的至少一个上进行手工的预加载调整。

6.如权利要求5所述的带宽选择的机构,其特征在于,还包括:

在所述第二致动器上的反馈控制环路,所述反馈控制环路响应于光的光谱参数。

7.如权利要求1所述的带宽选择的机构,其特征在于,还包括在所述第一致动器和所述第二致动器中的至少一个上的气动致动和反馈控制环路,所述气动致动和所述反馈控制环路响应于光的光谱参数。

8.如权利要求1所述的带宽选择的机构,其特征在于,还包括可变孔,所述可变孔定位在入射光束和所述色散光学元件的所述反射面之间。

9.如权利要求8所述的带宽选择的机构,其特征在于,所述可变孔具有沿着所述第二致动器的弯曲方向的可变尺寸。

10.如权利要求1所述的带宽选择的机构,其特征在于,还包括光束扩展器,所述光束扩展器用于扩展跨越所述入射区域的入射光束。

11.一种选择带宽的方法,包括:

扩展横跨色散光学元件的反射面的入射区域上的入射光束;

用沿着正交于所述色散光学元件的反射面的第一方向由第一致动器施加的第一弯曲力,来使所述色散光学元件的反射表面弯曲;

用沿着垂直于所述色散光学元件的反射面的第二方向由第二致动器施加的第二弯曲力,来使所述色散光学元件的所述反射表面弯曲,所述第二方向也垂直于所述第一方向;以及

通过至少一个挠曲件来解耦所述第二弯曲力,使得解耦的第二力不使第一力增加或减小。

12.如权利要求11所述的方法,其特征在于,在使所述色散光学元件的所述反射表面沿第一方向弯曲时,根据沿所述第一方向的位置均匀地改变所述反射表面上色散特征之间的间距。

13.如权利要求11所述的方法,其特征在于,还包括:

修改在所述反射表面上入射光束的尺寸,以包含弯曲的反射表面的不同区域。

14.如权利要求11所述的方法,其特征在于,响应于从反射光束特性中得到的反馈,使所述反射表面沿第一方向和第二方向中的至少一个方向弯曲。

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