[发明专利]成形喷嘴出口

说明书

技术领域

本发明涉及流体喷射装置。

背景技术

在一些流体喷射装置中，流体液滴从一个或多个喷嘴喷射到介质上。喷嘴流体连接至包括流体泵送腔的流体路径。该流体泵送腔能够由致动器致动，其引起流体液滴的喷射。该介质可以相对于流体喷射装置移动。流体液滴从特定喷嘴的喷射以介质的移动而被定时从而将流体液滴设置在介质上的所需位置处。在这些流体喷射装置中，通常理想地将具有均一尺寸和速度的流体液滴喷射并且沿相同方向从而将流体液滴均匀地沉积在该介质上。

发明内容

在一个方面，记载一种喷嘴层，包括：半导体主体，具有第一表面、与第一表面相对的第二表面以及通过连接第一和第二表面的主体形成的喷嘴，其中，所述喷嘴配置成通过第二表面上的喷嘴出口喷出流体，所述出口具有由弯曲角部连接的直边。

在另一方面，记载一种制造喷嘴层的方法，包括：将半导体主体中的喷嘴的形状形成为具有喷嘴出口，该喷嘴出口的直边被弯曲的角部连接。

在另一方面，记载一种喷嘴层，包括：半导体主体，具有第一表面、与第一表面相对的第二表面以及通过连接第一和第二表面的主体形成的喷嘴，其中，所述喷嘴配置成通过第二表面上的喷嘴出口喷出流体，所述出口具有多个弯曲边缘。

在另一方面，记载一种制造喷嘴层的方法，包括：将半导体主体中的喷嘴的形状形成为具有喷嘴出口，该喷嘴出口具有弯曲边缘。

在另一方面，记载一种喷嘴层，包括半导体主体，具有第一表面、与第一表面相对的第二表面以及通过连接第一和第二表面的主体形成的喷嘴，其中，所述喷嘴配置成通过喷嘴层的外表面上的喷嘴出口喷出流体，保护性层位于喷嘴出口附近的喷嘴层的外表面上，但是不在喷嘴内部，所述保护性层具有大约70度或更大的接触角

实施方式可包括一个或多个下述特征。该喷嘴出口是基本上方形的或多边形的。该喷嘴出口的弯曲角部可具有大约1微米或更大的曲率半径。该喷嘴层可包括保护性层，围绕所述第二表面上的出口并且至少部分地位于所述喷嘴内部。该保护性层可包括从包括氧化硅、氮化硅、氮化铝、钻石状碳、金属、掺杂有金属的氧化物以及它们的组合的组中选出的至少一个材料。该保护性层可包括无机、非金属材料或传导性材料。该传导性材料可接地。该保护性层可减小所述弯曲角部的曲率半径。该喷嘴可具有将所述第一表面连接至第二表面的直壁。该出口可具有弯曲边缘，该弯曲边缘可具有大约1微米或更大的曲率半径。该喷嘴可具有将第一表面连接至第二表面的锥形壁。该保护性层可将喷嘴出口的形状形成为具有弯曲边缘。对所述喷嘴成形包括：在所述第二表面上的出口的多个角部上形成无机氧化物层，以及至少部分地形成在所述喷嘴中；以及移除无机氧化物层。该氧化物层可具有大约1微米与大约10微米之间的厚度。移除无机氧化物层可包括使用氟化氢酸湿式浸蚀氧化硅。该喷嘴可通过KOH浸蚀而形成在主体中。该半导体主体可包括硅。该喷嘴出口的弯曲角部可具有大约1微米或更大的曲率半径。该方法可包括围绕具有曲率半径的出口以及至少部分地在所述喷嘴内部涂覆保护性层。该保护性层可包括从包括氧化硅、氮化硅、氮化铝、钻石状碳、金属、掺杂有金属的氧化物以及它们的组合的组中选出的至少一个材料。当该保护性层包括传导性层时，该方法可包括将传导性层接地。该方法也可包括将喷嘴层固紧至流体流动路径主体。该喷嘴出口的弯曲边缘具有大约0.5微米或更大的曲率半径。该喷嘴出口可具有由弯曲角部连接的直边。将喷嘴的形状形成为具有边缘为弯曲的喷嘴出口可包括在出口的多个边缘上以及至少部分地在喷嘴内部形成无机氧化物层；以及移除所述无机氧化物层。该方法可包括围绕具有弯曲边缘的出口以及至少部分地在喷嘴内部涂覆保护性层。该方法还可包括将喷嘴出口的形状形成为具有由弯曲角部连接的直边。该保护性层可包括金。

在一些实施方式中，所述装置可包括下述优势其中的一个或多个或没有。将喷嘴出口的形状形成为具有弯曲的边缘和/或角部能够消除与尖边缘出口相关联的问题：喷嘴可以不太可能被碎片堵塞，能够改善喷射直度，喷嘴可以更耐久，液滴尺寸可以更均匀。

在不限制于任何特定理论的情况下，喷嘴出口的尖边缘能够作为刀片和维护装置的刮掉部分(例如，刮除器)，刮除器的刮除操作能够将该碎片推动进入喷嘴并且阻塞它们。将喷嘴出口的形状形成为具有弯曲边缘能够减小喷嘴产生和截获碎片的趋势。