[发明专利]用于减废系统的废气冷凝物移除装置无效
申请号: | 200980144940.5 | 申请日: | 2009-11-09 |
公开(公告)号: | CN102210005A | 公开(公告)日: | 2011-10-05 |
发明(设计)人: | 菲尔·钱德勒;肖恩·W·柯若弗德 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;H01L21/02 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 柳春雷 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 系统 废气 冷凝物 装置 | ||
1.一种用于减废系统的废气冷凝物移除装置,所述废气冷凝物移除装置包含:
机壳排气装置;及
处理气体排气装置,所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换。
2.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述处理排气装置通过使用环形导管配置来与所述机壳排气装置敞开地交叉互换,所述环形导管配置将所述处理气体排气装置垂直导引入所述机壳排气装置内部。
3.根据权利要求2所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述环形导管配置经构造以将来自所述处理气体排气装置的处理气流与来自所述机壳排气装置的机壳排气流混合,所述混合几乎在所述处理气流及所述机壳排气流即将进入主要设施集流管之前发生。
4.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述机壳排气装置包含第一斜坡组件,且所述处理气体排气装置包含第二斜坡组件。
5.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置,其中,通过使所述处理气体排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换,处理气流的水分含量得以降低。
6.一种从减废系统移除废气冷凝物的方法,所述方法包含以下步骤:
提供机壳排气装置;
提供处理气体排气装置;及
使所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换。
7.根据权利要求6所述的方法,其中,使所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换的步骤包含以下步骤:使用环形导管配置,所述环形导管配置将所述处理气体排气装置垂直导引入所述机壳排气装置内部。
8.根据权利要求7所述的方法,其中,所述环形导管配置经构造以将来自所述处理气体排气装置的处理气流与来自所述机壳排气装置的机壳排气流混合,所述混合几乎在所述处理气流及所述机壳排气流即将进入主要设施集流管之前发生。
9.一种用于减废系统的废气冷凝物移除装置,所述废气冷凝物移除装置包含:
机壳排气装置;及
处理气体排气装置,所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。
10.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述处理排气装置通过将所述处理气体排气装置的导管导引入所述机壳排气装置中一段距离来与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。
11.根据权利要求10所述的废气冷凝物移除装置,其中,在将所述处理气体排气装置连接至主要设施集流管之前,将所述处理气体排气装置的所述导管进一步导引出所述机壳排气装置外。
12.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述机壳排气装置包含第一斜坡组件,且所述处理气体排气装置包含第二斜坡组件。
13.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置,其中,通过使所述处理气体排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换,处理气流的水分含量得以降低。
14.一种从减废系统移除废气冷凝物的方法,所述方法包含以下步骤:
提供机壳排气装置;
提供处理气体排气装置;及
使所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。
15.根据权利要求14所述的方法,其中,使所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换的步骤包含以下步骤:将所述处理气体排气装置的导管导引入所述机壳排气装置中一段距离。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造