[发明专利]用于减废系统的废气冷凝物移除装置无效

专利信息
申请号: 200980144940.5 申请日: 2009-11-09
公开(公告)号: CN102210005A 公开(公告)日: 2011-10-05
发明(设计)人: 菲尔·钱德勒;肖恩·W·柯若弗德 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00;H01L21/02
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人: 柳春雷
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 用于 系统 废气 冷凝物 装置
【权利要求书】:

1.一种用于减废系统的废气冷凝物移除装置,所述废气冷凝物移除装置包含:

机壳排气装置;及

处理气体排气装置,所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换。

2.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述处理排气装置通过使用环形导管配置来与所述机壳排气装置敞开地交叉互换,所述环形导管配置将所述处理气体排气装置垂直导引入所述机壳排气装置内部。

3.根据权利要求2所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述环形导管配置经构造以将来自所述处理气体排气装置的处理气流与来自所述机壳排气装置的机壳排气流混合,所述混合几乎在所述处理气流及所述机壳排气流即将进入主要设施集流管之前发生。

4.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述机壳排气装置包含第一斜坡组件,且所述处理气体排气装置包含第二斜坡组件。

5.根据权利要求1所述的废气冷凝物移除装置,其中,通过使所述处理气体排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换,处理气流的水分含量得以降低。

6.一种从减废系统移除废气冷凝物的方法,所述方法包含以下步骤:

提供机壳排气装置;

提供处理气体排气装置;及

使所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换。

7.根据权利要求6所述的方法,其中,使所述处理排气装置与所述机壳排气装置敞开地交叉互换的步骤包含以下步骤:使用环形导管配置,所述环形导管配置将所述处理气体排气装置垂直导引入所述机壳排气装置内部。

8.根据权利要求7所述的方法,其中,所述环形导管配置经构造以将来自所述处理气体排气装置的处理气流与来自所述机壳排气装置的机壳排气流混合,所述混合几乎在所述处理气流及所述机壳排气流即将进入主要设施集流管之前发生。

9.一种用于减废系统的废气冷凝物移除装置,所述废气冷凝物移除装置包含:

机壳排气装置;及

处理气体排气装置,所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。

10.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述处理排气装置通过将所述处理气体排气装置的导管导引入所述机壳排气装置中一段距离来与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。

11.根据权利要求10所述的废气冷凝物移除装置,其中,在将所述处理气体排气装置连接至主要设施集流管之前,将所述处理气体排气装置的所述导管进一步导引出所述机壳排气装置外。

12.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置,其中,所述机壳排气装置包含第一斜坡组件,且所述处理气体排气装置包含第二斜坡组件。

13.根据权利要求9所述的废气冷凝物移除装置,其中,通过使所述处理气体排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换,处理气流的水分含量得以降低。

14.一种从减废系统移除废气冷凝物的方法,所述方法包含以下步骤:

提供机壳排气装置;

提供处理气体排气装置;及

使所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换。

15.根据权利要求14所述的方法,其中,使所述处理排气装置与所述机壳排气装置封闭地交叉互换的步骤包含以下步骤:将所述处理气体排气装置的导管导引入所述机壳排气装置中一段距离。

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